[实用新型]管路用加热装置以及薄膜沉积设备

说明书

本实用新型公开了一种管路用加热装置以及薄膜沉积设备。其中，管路用加热装置，包括：导热件，所述导热件形成有容许管路穿过的收纳通道，所述收纳通道贯穿所述导热件，并且，所述收纳通道的横截面的尺寸大于所述管路的横截面的尺寸，以使在所述管路被收纳在所述收纳通道内的情况下，所述收纳通道和所述管路之间沿径向具有间隙；加热器，与所述导热件连接，并对所述导热件进行加热；在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路隔着所述间隙被所述导热件加热。根据本实用新型的管路用加热装置，能够使管路的各个位置的受热更加均匀。

技术领域

本实用新型涉及但不限于流体管路技术领域，尤其涉及一种管路用加热装置以及薄膜沉积设备。

背景技术

现有技术中，存在需要对管路中的流体进行加热、确保管路中的流体的温度均匀的情况。例如，在ALD(atomic layer deposition、原子层沉积)设备中，由于原子层沉积对前驱体源的温度的要求比较高，因此，对前驱体源到工艺腔的腔体的路径上的温度均匀性的要求非常高。否则，可能会因为温差问题导致路径上的前驱体源冷凝，这有可能导致薄膜的质量不稳定、良率下降等问题。

为了对管路中的流体进行加热，现有技术当中，存在通过加热套或者加热带缠绕在管路的外周并包裹管路，从而进行加热的结构。然而，这种结构通常需要与管路的外周直接接触，由于管路的形状各异，这种结构难以确保在各个位置均与管路均匀地接触，进而导致管路难以在各个位置均受热均匀。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种管路用加热装置，能够使管路的各个位置的受热更加均匀。此外，本实用新型还提出了具有该管路用加热装置的薄膜沉积设备。

根据本实用新型第一方面的管路用加热装置，包括：导热件，所述导热件形成有容许管路穿过的收纳通道，所述收纳通道贯穿所述导热件，并且，所述收纳通道的横截面的尺寸大于所述管路的横截面的尺寸，以使在所述管路被收纳在所述收纳通道内的情况下，所述收纳通道和所述管路之间沿径向具有间隙；加热器，与所述导热件连接，并对所述导热件进行加热；在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路隔着所述间隙被所述导热件加热。

根据本实用新型第一方面的管路用加热装置，具有如下有益效果：能够使管路的各个位置的受热更加均匀。

在一些实施方式中，还包括流体输出器，所述流体输出器与所述导热件的收纳通道连接，并往所述收纳通道和所述管路之间的间隙输入流体；在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路经由所述流体被所述导热件加热。

在一些实施方式中，所述收纳通道当中，具有多处拐弯部。

在一些实施方式中，所述收纳通道包括一个进口端以及多个出口端。

在一些实施方式中，所述收纳通道包括多个分支部，所述进口端通过多个所述分支部与多个所述出口端连通。

在一些实施方式中，所述导热件呈板状，所述导热件包括两个，两个所述导热件相互贴合；两个所述导热件当中，至少其中一个所述导热件的与另一个所述导热件相对的内侧表面上，形成有槽部，在两个所述导热件的所述内侧表面贴合的情况下，所述槽部形成处在所述两个所述导热件之间的所述收纳通道。

在一些实施方式中，两个所述导热件的所述内侧表面均形成有所述槽部，在两个所述导热件的所述内侧表面贴合的情况下，两个所述槽部相对并形成横截面呈圆形状的所述收纳通道。

在一些实施方式中，所述加热器呈板状，所述加热器包括两个，两个所述加热器分别贴合两个所述导热件的外侧表面。

在一些实施方式中，还包括隔热件，所述隔热件罩住所述加热器以及所述导热件。

根据本实用新型第二方面的薄膜沉积设备，具有气源部以及工艺腔，其中，所述气源部经由上述任一项的管路用加热装置被输送到所述工艺腔。