[实用新型]一种等离子刻蚀装置

摘要

本实用新型属于等离子刻蚀技术领域，尤其为一种等离子刻蚀装置，包括主体，所述主体的内部设置有可便捷拆卸更换的拖盘。通过旋转限位环使其上下移动可经顶环带动导杆旋转，调整相邻导杆之间的夹持范围，此时即可直接将物料搁置于上端，操作简单可有效防止搁置槽的固定防止引起反应物堆积的同时，物料搁置稳定还可经复位弹簧带动导杆施加夹持力防止松动；通过下压拖盘使其搁置于主体的内部并经定位销定位后，可带动弹性三角块卡合连接于定位槽的内部形成预限位，进而拨动压环使限位卡块卡合连接于主体的内部并经弹性折板形成顶紧力防止松动，操作简单可通过此结构便捷对拖盘进行拆卸更换操作，保障后续使用时的稳定性能。