[实用新型]一种等离子刻蚀装置

权利要求书

1.一种等离子刻蚀装置，其特征在于：包括主体(1)，所述主体(1)的内部设置有可便捷拆卸更换的拖盘(2)，所述拖盘(2)的上端设置有支座(3)，所述支座(3)的上外侧位置设置有可便捷调整夹持范围的导杆(4)，所述支座(3)的上端还设置有用于带动导杆(4)旋转的顶环(5)，所述支座(3)的外侧位置设置有用于将顶环(5)的下端限位的环座(6)，所述顶环(5)的下端设置有用于旋合连接于环座(6)外侧的限位环(7)，所述限位环(7)的上端设置有用于与顶环(5)连接的连杆(8)。

2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀装置，其特征在于：所述拖盘(2)的下端靠近外侧位置设置有可向外拨动的压环(9)，所述拖盘(2)的下端靠近外侧位置还设置有用于与主体(1)内部凸出机构连接形成限位的定位销(14)。

3.根据权利要求2所述的一种等离子刻蚀装置，其特征在于：所述压环(9)的内侧设置有用于与主体(1)内部凸出机构外侧位置连接的弹性三角块(10)，所述主体(1)内部凸出机构的外侧位置开设有用于弹性三角块(10)卡合连接的定位槽(11)。

4.根据权利要求2所述的一种等离子刻蚀装置，其特征在于：所述压环(9)的外侧设置有用于与拖盘(2)的外壁连接并对压环(9)形成顶紧作用力的弹性折板(12)，所述压环(9)的内侧靠近下端位置设置有用于与主体(1)连接增加稳定性能的限位卡块(13)。

5.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀装置，其特征在于：所述导杆(4)的下端设置有用于与支座(3)转动连接的环套(15)。

6.根据权利要求5所述的一种等离子刻蚀装置，其特征在于：所述环套(15)的两端外侧设置有用于与支座(3)的转轴连接并带动导杆(4)自动复位形成夹紧力的复位弹簧(16)。