[实用新型]一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构

摘要

本实用新型涉及一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，包括底座，所述底座的正面固定有五个定位吸盘，所述底座的内部设有用于调节尺寸的调节机构，所述底座的正面设有用于关闭定位吸盘的放开机构，所述调节机构包括固定在底座内部的四个电动推杆，所述电动推杆输出轴的外侧固定有推块，所述推块的左右两侧均固定有滑动连接在底座内部的滑块。该自动调节式晶圆解键合同心校正机构，调节机构通过滑块、橡胶垫、连接块、电动推杆、推块、压力传感器、限位柱、橡胶套筒以及气缸的配合使四个限位柱完成对不同尺寸的晶圆解键合进行固定，同时通过压力传感器使晶圆解键合在与橡胶套筒接触后停止移动，进而避免了晶圆解键合被挤压损坏。