[实用新型]一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构

权利要求书

1.一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，包括底座(2)，其特征在于：所述底座(2)的正面固定有五个定位吸盘(4)，所述底座(2)的内部设有用于调节尺寸的调节机构(1)，所述底座(2)的正面设有用于关闭定位吸盘(4)的放开机构(3)；

所述调节机构(1)包括固定在底座(2)内部的四个电动推杆(104)，所述电动推杆(104)输出轴的外侧固定有推块(105)，所述推块(105)的左右两侧均固定有滑动连接在底座(2)内部的滑块(101)，所述推块(105)的正面固定有滑动连接在底座(2)内部的连接块(103)，所述连接块(103)的正面固定有气缸(109)，所述气缸(109)输出轴的外侧固定有限位柱(107)，所述限位柱(107)的外侧固定有橡胶套筒(108)，所述限位柱(107)靠近定位吸盘(4)的一侧固定有位于橡胶套筒(108)内部的压力传感器(106)，所述底座(2)的内部固定有四个橡胶垫(102)。

2.根据权利要求1所述的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，其特征在于：所述底座(2)的内部开设有供以滑块(101)滑动连接的滑槽，所述底座(2)的正面开设有供以连接块(103)滑动连接的连接槽。

3.根据权利要求1所述的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，其特征在于：所述调节机构(1)以底座(2)的中轴线为对称线左右互相对称，所述底座(2)的内部开设有供以推块(105)滑动连接的活动槽。

4.根据权利要求1所述的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，其特征在于：所述橡胶套筒(108)靠近定位吸盘(4)的一侧开设有通孔，所述压力传感器(106)位于通孔内部。

5.根据权利要求1所述的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，其特征在于：所述放开机构(3)包括固定在底座(2)正面的第一固定板(302)和第二固定板(307)，所述第一固定板(302)的右侧固定有红外线发射器(301)，所述第二固定板(307)的左侧固定有红外线接收器(308)，所述第二固定板(307)的上表面固定有两个固定块(305)，两个所述固定块(305)相对的一侧之间转动连接有转杆(306)，所述转杆(306)的外侧固定有挡板(303)，两个所述固定块(305)的左侧固定有限位板(304)。

6.根据权利要求5所述的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，其特征在于：所述第一固定板(302)与第二固定板(307)大小相等，所述挡板(303)横截面的形状为L形。

7.根据权利要求5所述的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，其特征在于：两个所述固定块(305)相对的一侧均开设有安装槽，所述安装槽的内部固定有轴承，所述转杆(306)固定在轴承的内部。