[发明专利]一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202310906009.8 | 申请日： | 2023-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN116904925A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 林松盛;陈彦军;张程;李海潮;苏一凡;唐鹏;石倩;韦春贝;黄淑琪;代明江;周克崧 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 颜欢 |
| 地址： | 510650 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用，属于表面处理技术领域。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜包括用于在基底表面依次设置的Cr打底层、Cr |
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| 搜索关键词： | 一种 高温 润滑 掺杂 金刚石 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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