[发明专利]一种提高负极材料电化学性能的化学气相沉积设备

摘要

本发明涉及气相沉积设备技术领域，具体涉及一种提高负极材料电化学性能的化学气相沉积设备，包括反应箱，所述反应箱的顶端设置有盖板，所述盖板的上方设置有储料箱，所述储料箱的底端固定安装有连通管，所述连通管穿过所述盖板，并与所述反应箱连通，所述反应箱的一侧设置有气体混合器，所述气体混合器的输出端固定安装有进气管，所述进气管与所述气体混合器连通，所述进气管的侧端固定安装有控制阀，所述反应箱的一侧固定安装有加热器，所述反应箱位于所述加热器的上方固定安装有温度控制器。本发明所述的一种提高负极材料电化学性能的化学气相沉积设备，连接性强，便于对排出热气进行利用，节约资源，提高负极材料电化学性能。