[发明专利]一种透明态氧化镍薄膜及其制备方法与电致变色器件在审
申请号: | 202310782954.1 | 申请日: | 2023-06-29 |
公开(公告)号: | CN116657092A | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 包山虎;梁锐生;许生;杨春林 | 申请(专利权)人: | 深圳豪威显示科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/34;G02F1/1524 |
代理公司: | 深圳市锟剑恒富知识产权代理有限公司 44769 | 代理人: | 黄晓笛 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及电致变色器技术领域,尤其涉及一种透明态氧化镍薄膜及其制备方法与电致变色器件。该制备方法,包括以下步骤:在通水及加热基板条件下,以直流电源反应溅射方法制备透明态氧化镍薄膜。本发明在水蒸气真空环境中进行溅射沉积氧化镍锡薄膜获得透过率较高的薄膜而且其电化学容量也明显提升,更有利于提高电致变色器件的变色效率,响应速度及光学性能的提高。制备的器件的透明态与变色态之间的变化范围宽,变化率达到60%以上。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 氧化 薄膜 及其 制备 方法 变色 器件 | ||
【主权项】:
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