[发明专利]一种光刻机光源头组件有效
| 申请号： | 202310743157.2 | 申请日： | 2023-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN116520650B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 谭军;庞超群;曹彬;朱晓春 | 申请（专利权）人： | 张家港奇点光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 王静思 |
| 地址： | 215636 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻机光源组件技术领域，尤其为一种光刻机光源头组件，包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置，所述光源装置后方与水冷装置固定连接，所述光源装置内设置有风冷装置，所述光源装置内一侧设置有直准模组，所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置，所述后板一侧设有前板，所述前板内设有呈均匀分布的螺栓，本发明中，通过设置的固定块、连接杆、卡合杆、安装块、滑槽、固定板、定位杆、第一弹簧和夹持主体，可以直接推动卡合杆，通过卡合杆推动夹持主体移动，在卡合杆底部与安装块相接触后，松开卡合杆，夹持主体可以在第一弹簧的作用下对卡合杆进行卡合，同时推动卡合杆移动，实现对固定壳的快速安装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 源头 组件 | ||
【主权项】：
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