[发明专利]一种光刻机光源头组件

说明书

本发明涉及光刻机光源组件技术领域，尤其为一种光刻机光源头组件，包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置，所述光源装置后方与水冷装置固定连接，所述光源装置内设置有风冷装置，所述光源装置内一侧设置有直准模组，所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置，所述后板一侧设有前板，所述前板内设有呈均匀分布的螺栓，本发明中，通过设置的固定块、连接杆、卡合杆、安装块、滑槽、固定板、定位杆、第一弹簧和夹持主体，可以直接推动卡合杆，通过卡合杆推动夹持主体移动，在卡合杆底部与安装块相接触后，松开卡合杆，夹持主体可以在第一弹簧的作用下对卡合杆进行卡合，同时推动卡合杆移动，实现对固定壳的快速安装。

技术领域

本发明涉及光刻机光源组件技术领域，具体为一种光刻机光源头组件。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统和光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机在使用时，需要通过光源装置发射光线，进而对特殊处理后的硅片进行照射，达到对硅片进行蚀刻的目的。

传统的光刻机光源头组件在使用时，通常直接将光源头组件固定在光刻机上，在线路接通后，光源头组件内灯盘发出的光通过直准板后直接照射在硅片上，在灯盘长时间使用后，寿命到达极限会出现损坏，此时需要通过螺丝对光源装置外壳进行拆卸，然后对灯盘进行更换，更换过程繁琐，因此，针对上述问题提出一种光刻机光源头组件。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机光源头组件，以解决灯盘更换过程繁琐的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光刻机光源头组件，包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置，所述光源装置后方与水冷装置固定连接，所述光源装置内设置有风冷装置，所述光源装置内一侧设置有直准模组，所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置，所述后板一侧设有前板，所述前板内设有呈均匀分布的螺栓，所述螺栓一端与后板螺旋连接，所述前板内固定连接有灯盘，所述前板远离后板的一侧设有固定壳，所述直准模组设置在固定壳内，所述卡合主体的个数共有两个，且卡合主体固定在前板的两侧，所述夹持装置设置在卡合主体外侧，所述夹持装置的个数共有两个，且夹持装置与前板固定连接，所述夹持装置另一侧贯穿后板，所述卡合主体包括固定块，所述固定块一侧与固定壳固定连接，所述固定块一侧转动连接有连接杆，所述连接杆远离固定块的一端固定连接有卡合杆，所述卡合杆设置在夹持装置内，所述夹持装置包括安装块和夹持主体，所述安装块内设开设有滑槽，所述安装块所设滑槽内设有定位杆，所述定位杆一端固定连接有固定板，所述定位杆另一端外侧固定在夹持主体内，所述定位杆靠近固定板的一端外侧设有第一弹簧，所述夹持主体设置在安装块内。

优选的，所述夹持主体包括夹持板，所述夹持板两侧均转动连接有卡合轮，所述卡合轮一侧与卡合杆紧密贴合，所述卡合杆一侧与夹持板紧密贴合，所述夹持板一侧固定连接有固定杆，所述固定杆另一端设置在安装块内，所述固定杆外侧滑动连接有连接板，所述连接板与安装块紧密贴合，所述固定杆一端外侧设有第二弹簧。

优选的，所述螺栓的个数共有四个，且螺栓在灯盘外侧呈均匀分布，两个所述卡合主体关于灯盘中央位置处呈相互对称设置，两个所述夹持装置关于灯盘中央位置处呈相互对称设置。

优选的，直准模组包括直准板和定位装置，所述直准板两侧均固定连接有密封圈，所述直准板一侧设有前框，所述直准板另一侧设有后框，所述前框与后框紧密贴合，所述后框远离直准板的一侧紧密贴合有限位框，所述限位框后方与后板固定连接，所述定位装置两个为一组设置在直准板的四周，所述定位装置一侧设置在前框内，所述定位装置另一侧设置在后框内。