[发明专利]一种光刻机光源头组件

权利要求书

1.一种光刻机光源头组件，包括光源装置（1）、直准模组（2）、风冷装置（3）和水冷装置（4），其特征在于：所述光源装置（1）后方与水冷装置（4）固定连接，所述光源装置（1）内设置有风冷装置（3），所述光源装置（1）内一侧设置有直准模组（2），所述光源装置（1）包括后板（11）、卡合主体（15）和夹持装置（16），所述后板（11）一侧设有前板（12），所述前板（12）内设有呈均匀分布的螺栓（17），所述螺栓（17）一端与后板（11）螺旋连接，所述前板（12）内固定连接有灯盘（13），所述前板（12）远离后板（11）的一侧设有固定壳（14），所述直准模组（2）设置在固定壳（14）内，所述卡合主体（15）的个数共有两个，且卡合主体（15）固定在前板（12）的两侧，所述夹持装置（16）设置在卡合主体（15）外侧，所述夹持装置（16）的个数共有两个，且夹持装置（16）与前板（12）固定连接，所述夹持装置（16）另一侧贯穿后板（11），所述卡合主体（15）包括固定块（151），所述固定块（151）一侧与固定壳（14）固定连接，所述固定块（151）一侧转动连接有连接杆（152），所述连接杆（152）远离固定块（151）的一端固定连接有卡合杆（153），所述卡合杆（153）设置在夹持装置（16）内，所述夹持装置（16）包括安装块（161）和夹持主体（166），所述安装块（161）内设开设有滑槽（162），所述安装块（161）所设滑槽（162）内设有定位杆（164），所述定位杆（164）一端固定连接有固定板（163），所述定位杆（164）另一端外侧固定在夹持主体（166）内，所述定位杆（164）靠近固定板（163）的一端外侧设有第一弹簧（165），所述夹持主体（166）设置在安装块（161）内。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述夹持主体（166）包括夹持板（1661），所述夹持板（1661）两侧均转动连接有卡合轮（1662），所述卡合轮（1662）一侧与卡合杆（153）紧密贴合，所述卡合杆（153）一侧与夹持板（1661）紧密贴合，所述夹持板（1661）一侧固定连接有固定杆（1663），所述固定杆（1663）另一端设置在安装块（161）内，所述固定杆（1663）外侧滑动连接有连接板（1664），所述连接板（1664）与安装块（161）紧密贴合，所述固定杆（1663）一端外侧设有第二弹簧（1665）。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述螺栓（17）的个数共有四个，且螺栓（17）在灯盘（13）外侧呈均匀分布，两个所述卡合主体（15）关于灯盘（13）中央位置处呈相互对称设置，两个所述夹持装置（16）关于灯盘（13）中央位置处呈相互对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：直准模组（2）包括直准板（21）和定位装置（26），所述直准板（21）两侧均固定连接有密封圈（22），所述直准板（21）一侧设有前框（23），所述直准板（21）另一侧设有后框（24），所述前框（23）与后框（24）紧密贴合，所述后框（24）远离直准板（21）的一侧紧密贴合有限位框（25），所述限位框（25）后方与后板（11）固定连接，所述定位装置（26）两个为一组设置在直准板（21）的四周，所述定位装置（26）一侧设置在前框（23）内，所述定位装置（26）另一侧设置在后框（24）内。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述定位装置（26）包括前限位板（261）和滑板（266），所述前限位板（261）设置在前框（23）内，所述前限位板（261）一侧固定连接有前定位板（263），所述前定位板（263）外侧设有后定位板（264），所述后定位板（264）另一侧固定连接有后限位板（262），所述后限位板（262）设置在后框（24）内，所述前定位板（263）两侧均开设有定位槽（265），所述前定位板（263）所开设定位槽（265）内有定位轮（267），所述定位轮（267）在滑板（266）内转动连接，所述定位轮（267）两侧内均设有滑杆（268），所述滑杆（268）两端均与后定位板（264）固定连接，所述滑杆（268）远离滑板（266）的一端内外侧设有第三弹簧（269）。