[发明专利]一种可调式晶圆边缘抛光装置在审
| 申请号： | 202310737234.3 | 申请日： | 2023-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN116638429A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 任明元;梁春;刘文平;张景斌 | 申请（专利权）人： | 苏州博宏源机械制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/04 | 分类号： | B24B29/04;B24B9/06;B24B47/12;B24B41/02 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张晓博 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种可调式晶圆边缘抛光装置，包括：抛光底座，抛光机构，设于抛光底座内，抛光机构包括驱动部件、抛光台和抛光垫，驱动部件设于抛光底座内，抛光台设于驱动部件上，抛光垫安装设于抛光台的外壁顶部，清洁机构，设于抛光台内，清洁机构包括移动部件、多组安装部件、多个第一清洁棉和多个第二清洁棉。该可调式晶圆边缘抛光装置，通过移动部件驱动多组安装部件移出抛光台，随着抛光台的转动，使每个第一清洁棉和第二清洁棉对收液框内表面抛光液残留物进行清理，避免收液框的内壁上残留抛光液，不便于清洁，清洁效率低，配合清洁管，提高清洁效果，通过通风机构，加快抛光底座内部的空气流通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调式 边缘 抛光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州博宏源机械制造有限公司，未经苏州博宏源机械制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310737234.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
