[发明专利]一种可调式晶圆边缘抛光装置

权利要求书

1.一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于，包括：

抛光底座(1)；

抛光机构(2)，设于抛光底座(1)内，所述抛光机构(2)包括驱动部件、抛光台(201)和抛光垫(202)，所述驱动部件设于抛光底座(1)内，所述抛光台(201)设于驱动部件上，所述抛光垫(202)安装设于抛光台(201)的外壁顶部；

清洁机构(3)，设于抛光台(201)内，所述清洁机构(3)包括移动部件、多组安装部件、多个第一清洁棉(301)和多个第二清洁棉(302)，所述移动部件设于抛光台(201)上，每组所述安装部件均设于移动部件上，每个所述第一清洁棉(301)设于均安装部件上，每个所述第二清洁棉(302)均设于安装部件上；

收液框(4)，固定嵌设于抛光底座(1)的外壁顶部，所述收液框(4)的外壁一侧沿圆周方向等距嵌设有多个清洁管(5)；以及

通风机构(6)，设于抛光台(201)上。

2.如权利要求1所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：所述驱动部件包括抛光电机(203)和转动轴(204)，所述抛光电机(203)通过螺栓安装于抛光底座(1)的内壁底部，所述转动轴(204)固定设置于抛光电机(203)的输出端，且转动轴(204)固定嵌设于抛光台(201)的内壁顶部。

3.如权利要求2所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：所述移动部件包括转动电机(303)、外齿轮(304)、内齿轮(305)、转动板(306)和四组移动组件，所述转动电机(303)通过螺栓安装于抛光台(201)的内壁顶部，所述外齿轮(304)固定设置于转动电机(303)的输出端，所述转动板(306)转动嵌设于抛光台(201)的内壁，所述内齿轮(305)固定设置于转动板(306)的外壁顶部，且内齿轮(305)与外齿轮(304)之间相啮合，每组所述移动组件均沿圆周方向等距设于转动板(306)上。

4.如权利要求3所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：每组所述移动组件均包括凸轮孔(307)和移动轴(308)，所述凸轮孔(307)开设于转动板(306)的外壁顶部，所述移动轴(308)滑动嵌设于凸轮孔(307)的内壁。

5.如权利要求4所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：每组所述安装部件均包括安装框(309)、折叠框(310)、安装轴(311)和折叠组件，所述安装框(309)固定设置于移动轴(308)的外壁底部，且安装框(309)滑动贯穿于抛光台(201)的外壁一侧，并且安装框(309)固定设置于第一清洁棉(301)的外壁顶部，所述安装轴(311)固定设置于安装框(309)的内壁靠近一侧边缘处，所述折叠框(310)活动套设于安装轴(311)的外壁，所述折叠组件设于安装框(309)与折叠框(310)之间，所述折叠框(310)固定设置于第二清洁棉(302)的外壁一侧。

6.如权利要求5所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：每组所述折叠组件包括折叠电机(312)、第一连杆(313)、第二连杆(314)和第二连接轴(315)，所述折叠电机(312)通过螺栓安装框(309)的内壁底部，所述第一连杆(313)的一端固定套设于折叠电机(312)的输出端，所述第一连杆(313)与第二连杆(314)之间通过转轴相连接，所述第二连接轴(315)固定设置于折叠框(310)的内壁，所述第二连杆(314)的一端活动套设于第二连接轴(315)的外壁。

7.如权利要求6所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：所述通风机构(6)包括多个通风孔(601)、大齿轮(602)和多组旋转部件，每个所述通风孔(601)均开设于抛光台(201)的外壁底部，所述大齿轮(602)固定套设于抛光台(201)的外壁，每组所述旋转部件均设于抛光底座(1)内。