[发明专利]一种集成电路工艺及质量柔性控制系统及方法在审
| 申请号： | 202310651544.3 | 申请日： | 2023-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN116520752A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 沈阳;徐军红 | 申请（专利权）人： | 成都智造时代科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 刘明曜 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流区东升*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路工艺及质量柔性控制系统及方法，涉及工艺及质量柔性控制技术领域，包含工艺质量参数采集器、信号调理模块、FPGA控制单元、数据交换器、数据库服务器和电源模块；利用通过工艺质量参数采集器与设备连接并采集设备上的生产参数，实现工艺质量参数的自动采集；将采集的工艺质量参数进行放大滤波处理；对信号调理电路调理好的信号进行AD转换，将工艺质量参数采集器的模拟信号转换成数字信号以备DSP核进行不同策略运算用；DSP核根据上位机提供的运算策略对传感器传来的参数进行相应的运算为控制器提供控制参数，实现集成电路工艺及质量的实时控制和控制系统的柔性控制以最大限度实现柔性控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 工艺 质量 柔性 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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