[发明专利]一种集成电路工艺及质量柔性控制系统及方法

说明书

本发明公开了一种集成电路工艺及质量柔性控制系统及方法，涉及工艺及质量柔性控制技术领域，包含工艺质量参数采集器、信号调理模块、FPGA控制单元、数据交换器、数据库服务器和电源模块；利用通过工艺质量参数采集器与设备连接并采集设备上的生产参数，实现工艺质量参数的自动采集；将采集的工艺质量参数进行放大滤波处理；对信号调理电路调理好的信号进行AD转换，将工艺质量参数采集器的模拟信号转换成数字信号以备DSP核进行不同策略运算用；DSP核根据上位机提供的运算策略对传感器传来的参数进行相应的运算为控制器提供控制参数，实现集成电路工艺及质量的实时控制和控制系统的柔性控制以最大限度实现柔性控制。

技术领域

本发明属于工艺及质量柔性控制技术领域，尤其涉及一种集成电路工艺及质量柔性控制系统及方法。

背景技术

生产工艺监控——是指在生产过程中，通过采集模块的采集和处理，可以查看到当前生产工艺的各类工艺参数，并可以及时对其中不合理或需优化的工艺参数设置进行修改，控制设备按调整后的工艺要求进行生产，起到对生产工艺的监督和控制作用。

生产不同产品，工艺要求是不同的。

目前，在制造业的生产过程中，生产工艺的控制主要靠人为，由人去监督生产过程，把握生产进度，控制产品质量。而人是一种不确定因素，对生产工艺的控制难以达到最大程度的客观和严谨，由此很可能导致生产节拍的过快或过慢，对产品质量的一致性也很难保证。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对背景技术的不足提供一种集成电路工艺及质量柔性控制系统及方法，利用通过工艺质量参数采集器与设备连接并采集设备上的生产参数，实现工艺质量参数的自动采集，实现集成电路工艺及质量的实时控制和控制系统的柔性控制以最大限度实现柔性控制。

本发明为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种集成电路工艺及质量柔性控制系统，包含工艺质量参数采集器、信号调理模块、FPGA控制单元、配置电路、报警模块、时钟模块、存储模块、数据交换器、数据库服务器和电源模块；

所述工艺质量参数采集器通过信号调理模块连接FPGA控制单元，所述配置电路、报警模块、时钟模块、存储模块和电源模块分别与FPGA控制单元连接，所述FPGA控制单元通过数据交换器连接数据库服务器；

其中，工艺质量参数采集器与设备连接并采集设备上的生产参数，实现工艺质量参数的自动采集；

信号调理模块，用于将采集的工艺质量参数进行放大滤波处理，进而上传至FPGA控制单

FPGA控制单元，用于对信号调理电路调理好的信号进行AD转换，将工艺质量参数采集器的模拟信号转换成数字信号以备DSP核进行不同策略运算用；DSP核根据上位机提供的运算策略对传感器传来的参数进行相应的运算为控制器提供控制参数,实现集成电路工艺及质量的实时控制和控制系统的柔性控制；

报警模块，用于工艺质量参数采集器采集的生产参数出现异常现象时进行报警；

数据交换器，用于通过数据交换器与数据库服务器连接；

采集器采集设备上的生产参数，业务终端将生产参数通过数据交换器上交至数据库服务器，报警模块对检测到的异常现象进行报警；

配置电路，用于配置FPGA控制单元的算法及整个硬件电路；

时钟模块，用于记录时间；

存储模块，用于根据时钟模块记录的时间进行实时数据存储；

电源模块，用于提供集成电路工艺及质量柔性控制系统所需电能。