[发明专利]一种集成电路工艺及质量柔性控制系统及方法

权利要求书

1.一种集成电路工艺及质量柔性控制系统，其特征在于：包含工艺质量参数采集器、信号调理模块、FPGA控制单元、配置电路、报警模块、时钟模块、存储模块、数据交换器、数据库服务器和电源模块；

所述工艺质量参数采集器通过信号调理模块连接FPGA控制单元，所述配置电路、报警模块、时钟模块、存储模块和电源模块分别与FPGA控制单元连接，所述FPGA控制单元通过数据交换器连接数据库服务器；

其中，工艺质量参数采集器与设备连接并采集设备上的生产参数，实现工艺质量参数的自动采集；

信号调理模块，用于将采集的工艺质量参数进行放大滤波处理，进而上传至FPGA控制单元；

FPGA控制单元，用于对信号调理电路调理好的信号进行AD转换，将工艺质量参数采集器的模拟信号转换成数字信号以备DSP核进行不同策略运算用；DSP核根据上位机提供的运算策略对传感器传来的参数进行相应的运算为控制器提供控制参数,实现集成电路工艺及质量的实时控制和控制系统的柔性控制；

报警模块，用于工艺质量参数采集器采集的生产参数出现异常现象时进行报警；

数据交换器，用于通过数据交换器与数据库服务器连接；

采集器采集设备上的生产参数，业务终端将生产参数通过数据交换器上交至数据库服务器，报警模块对检测到的异常现象进行报警；

配置电路，用于配置FPGA控制单元的算法及整个硬件电路；

时钟模块，用于记录时间；

存储模块，用于根据时钟模块记录的时间进行实时数据存储；

电源模块，用于提供集成电路工艺及质量柔性控制系统所需电能。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路工艺及质量柔性控制系统，其特征在于：所述FPGA控制单元包含高稳晶振模块、FPGA主控模块、USB传输模块、串口模块、数据处理中心、USB接口、千兆网接口和HDMI接口，所述高稳晶振模块与FPGA主控模块连接，所述FPGA主控模块分别经过USB传输模块、串口模块连接数据处理中心，所述USB接口、千兆网接口和HDMI接口分别与数据处理中心连接。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路工艺及质量柔性控制系统，其特征在于：所述FPGA主控模块包含控制模块、逻辑控制单元、HDMI接口芯片控制单元、DDR3-SDRAM缓存控制单元，以及供电电路、复位电路、晶振电路、下载电路和配置SPI Flash电路，所述控制模块、逻辑控制单元、HDMI接口芯片控制单元、DDR3-SDRAM缓存控制单元、供电电路、复位电路、晶振电路、下载电路和配置SPI Flash电路分别与逻辑控制单元电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路工艺及质量柔性控制系统，其特征在于：还包含电能质量控制模块，所述电能质量控制模块与FPGA控制单元连接，所述电能质量控制模块包含包括动态电压恢复模块和有源电力滤波模块；所述有源电力滤波模块与外部电网连接；所述动态电压恢复模块包括第一变流器、第一储能单元和双向晶闸管T1，所述双向晶闸管T1连接于所述外部电网与负载之间，所述第一储能单元通过第一变流器与负载连接。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路工艺及质量柔性控制系统，其特征在于：所述动态电压恢复模块还包括旁路断路器K1；所述旁路断路器K1与双向晶闸管T1并联；

所述有源电力滤波模块包括第二变流器和第二储能单元；所述第二储能单元通过第二变流器与外部电网连接。

6.根据权利要求4所述的电能质量柔性控制装置，其特征在于，所述装置还包括备用电源模块；所述备用电源模块包括备用电源、双向晶闸管T2和旁路断路器K2；所述旁路断路器K2与双向晶闸管T2并联，所述双向晶闸管T2连接于备用电源和负载之间。