[发明专利]流体压力传感器、流体压力检测装置及其校准方法在审
| 申请号： | 202310449707.X | 申请日： | 2023-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN116642621A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赵寒阳;牟昌华;李承锦;武旭东 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流体压力传感器，包括：固定电容模块、感测电容模块和信号处理模块，感测电容模块包括动电极部和定电极部，动电极部背离定电极部的一侧用于与待测流体接触，且动电极部能够在待测流体的压力作用下发生形变，以改变感测电容模块的电容值，固定电容模块的电容值与感测电容模块的初始电容值一致，信号处理模块用于确定感测电容模块的电容值与固定电容模块的电容值之间的电容差值，电容差值用于生成表征待测流体压力大小的压力检测信号。在本发明中，固定电容模块的电容值可作为感测电容模块的零点基准，对压力检测信号进行补偿，提高压力检测精度。本发明还提供一种流体压力检测装置及其校准方法。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 压力传感器 压力 检测 装置 及其 校准 方法 | ||
【主权项】：
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