[发明专利]流体压力传感器、流体压力检测装置及其校准方法

说明书

本发明提供一种流体压力传感器，包括：固定电容模块、感测电容模块和信号处理模块，感测电容模块包括动电极部和定电极部，动电极部背离定电极部的一侧用于与待测流体接触，且动电极部能够在待测流体的压力作用下发生形变，以改变感测电容模块的电容值，固定电容模块的电容值与感测电容模块的初始电容值一致，信号处理模块用于确定感测电容模块的电容值与固定电容模块的电容值之间的电容差值，电容差值用于生成表征待测流体压力大小的压力检测信号。在本发明中，固定电容模块的电容值可作为感测电容模块的零点基准，对压力检测信号进行补偿，提高压力检测精度。本发明还提供一种流体压力检测装置及其校准方法。

技术领域

本发明涉及流体压力检测装置的校准方法领域，具体地，涉及一种流体压力传感器、一种流体压力检测装置和一种用于校准该流体压力检测装置的流体压力检测装置的校准方法。

背景技术

信息技术是以信息获取、信息传输以及信息处理三大技术为基础的技术。传感器是一种可以将外部的物理量、化学量、生物量等非电信号转换成电信号输出的电子器件或装置，是获取信息最主要的器件。压力信号是工业控制系统的一种重要参数，对压力的正确测量和控制是保证工业系统正常运行的必要条件之一。流体压力传感器由于具有灵敏度高、精度高、可靠性好，动态响应快、易于小型化和集成化等优点，可用于例如压力、高度、加速度、流量、流速、液位、深度和压强的测量与控制等多种用途。

大部分流体压力传感器采用金属结构设计，流体压力传感器中的压力敏感元件能够在受到例如液体、气体的压力时产生压力信号，流体压力传感器的信号处理部件能够按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号。流体压力传感器虽然优点众多，但在实际工程使用中依然存在一些缺陷，例如，在实际使用过程中，传感器容易收到外界温度，制造工艺，测量方法等多种因素影响，从而导致线性，精度，温漂等问题。

因此，如何提供一种流体压力检测精度更高的流体压力检测装置，成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明旨在提供一种流体压力传感器、一种流体压力检测装置和一种流体压力检测装置的校准方法，该流体压力传感器能够提高流体压力检测精度。

为实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种流体压力传感器，包括：固定电容模块、感测电容模块和信号处理模块，

所述感测电容模块包括动电极部和定电极部，所述动电极部背离所述定电极部的一侧用于与待测流体接触，且所述动电极部能够在所述待测流体的压力作用下发生形变，以改变所述感测电容模块的电容值，

所述固定电容模块的电容值与所述感测电容模块的初始电容值一致，

所述信号处理模块用于确定所述感测电容模块的电容值与所述固定电容模块的电容值之间的电容差值，所述电容差值用于生成表征所述待测流体压力大小的压力检测信号。

可选地，所述感测电容模块与所述固定电容模块层叠设置，且所述固定电容模块设置于所述感测电容模块的所述定电极部背离所述动电极部的一侧。

可选地，所述动电极部包括动基板和动电极，所述定电极部包括定基板和定电极，所述动基板与所述定基板均为绝缘材质，所述动基板与所述定基板相对间隔设置且所述动基板与所述定基板的边缘密封连接形成感测电容腔，所述动电极和所述定电极均位于所述感测电容腔中，所述动电极固定设置在所述动基板上，所述定电极固定设置在所述定基板上。

可选地，所述固定电容模块包括一对固定基板和一对固定电极，所述固定基板为绝缘材质，两个所述固定基板相对间隔设置且二者的边缘密封连接形成固定电容腔，两个所述固定电极均位于所述固定电容腔中，两个所述固定电极分别固定设置在两个所述固定基板上，所述固定电容模块的电容值具体为两个所述固定电极之间的电容值。

可选地，所述动基板和所述定基板均为陶瓷材质。

可选地，所述固定基板为陶瓷材质。