[发明专利]流体压力传感器、流体压力检测装置及其校准方法

权利要求书

1.一种流体压力传感器，其特征在于，包括：固定电容模块、感测电容模块和信号处理模块，

所述感测电容模块包括动电极部和定电极部，所述动电极部背离所述定电极部的一侧用于与待测流体接触，且所述动电极部能够在所述待测流体的压力作用下发生形变，以改变所述感测电容模块的电容值，

所述固定电容模块的电容值与所述感测电容模块的初始电容值一致，

所述信号处理模块用于确定所述感测电容模块的电容值与所述固定电容模块的电容值之间的电容差值，所述电容差值用于生成表征所述待测流体压力大小的压力检测信号。

2.根据权利要求1所述的流体压力传感器，其特征在于，所述感测电容模块与所述固定电容模块层叠设置，且所述固定电容模块设置于所述感测电容模块的所述定电极部背离所述动电极部的一侧。

3.根据权利要求2所述的流体压力传感器，其特征在于，所述动电极部包括动基板和动电极，所述定电极部包括定基板和定电极，所述动基板与所述定基板均为绝缘材质，所述动基板与所述定基板相对间隔设置且所述动基板与所述定基板的边缘密封连接形成感测电容腔，所述动电极和所述定电极均位于所述感测电容腔中，所述动电极固定设置在所述动基板上，所述定电极固定设置在所述定基板上。

4.根据权利要求3所述的流体压力传感器，其特征在于，所述固定电容模块包括一对固定基板和一对固定电极，所述固定基板为绝缘材质，两个所述固定基板相对间隔设置且二者的边缘密封连接形成固定电容腔，两个所述固定电极均位于所述固定电容腔中，两个所述固定电极分别固定设置在两个所述固定基板上，所述固定电容模块的电容值具体为两个所述固定电极之间的电容值。

5.根据权利要求3或4所述的流体压力传感器，其特征在于，所述动基板和所述定基板均为陶瓷材质。

6.根据权利要求5所述的流体压力传感器，其特征在于，所述固定基板为陶瓷材质。

7.根据权利要求6所述的流体压力传感器，其特征在于，所述固定电容模块位于所述定基板背离所述动基板的一侧，所述定基板与相邻的所述固定基板贴合并通过高温陶瓷共烧连接。

8.一种流体压力检测装置，其特征在于，所述流体压力检测装置包括变送器主机和权利要求1至7中任意一项所述的流体压力传感器，所述变送器主机包括滤波电路和控制电路，其中，所述滤波电路用于滤除所述信号处理模块输出的电容差值信号中的交流部分及杂波信号，所述控制电路用于基于所述电容差值信号生成所述压力检测信号。

9.根据权利要求8所述的流体压力检测装置，其特征在于，所述变送器主机还包括按键电路，所述按键电路具有调零按键，且所述按键电路能够在所述调零按键被按下时向所述控制电路发出调零信号，以将所述控制电路的所述压力检测信号调整为零。

10.一种流体压力检测装置的校准方法，其特征在于，包括：

获取待测流体的多个压力值与对应的多个压力检测信号；

定义基于所述压力检测信号计算所述压力值的线性方程，并将多个所述压力值与对应的多个所述压力检测信号代入所述线性方程中得到基于多个所述压力检测信号的线性方程；

定义多个所述线性方程的方差，并求出对应于最小方差值的所述线性方程的参数值；

将所述参数值代入所述线性方程，得到隐含层函数；

当所得到的隐含层函数的全局误差大于或等于预设误差阈值时，迭代执行得到基于多个所述压力检测信号的线性方程的步骤至得到隐含层函数的步骤，直至当前隐含层函数的全局误差小于所述预设误差阈值；

将当前隐含层函数写入所述流体压力检测装置的变送器主机。