[发明专利]抛光台、抛光设备和抛光方法在审
| 申请号： | 202310430857.6 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116141189A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 贺云鹏;王贺 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B7/22;B24B57/02;B24B37/34;H01L21/67 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 侯丽丽;王渝 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及抛光台、抛光设备和抛光方法，所述抛光台包括用于供给多种抛光液的多个供液通道和被所述多个供液通道分割而形成的多个抛光区，其中，所述抛光区与所述供液通道沿所述抛光台的径向方向交替地布置，以在抛光时借助于所述抛光台旋转产生的离心力使所述多种抛光液分布在所述多个抛光区上，从而在不同的抛光区提供不同的抛光去除量。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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