[发明专利]图案检测方法及图案检测系统有效
| 申请号： | 202310317429.2 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116051550B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 朱旭东 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;H01L21/66;G06T7/60;G06T5/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 成亚婷 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种图案检测方法及图案检测系统。所述方法包括：获取第一待检测图案，并根据第一待检测图案确定第一设计图案；根据第一设计图案构建第一检测模型，以基于第一检测模型获取第一待检测图案对应的轮廓版图为第一轮廓版图；获取第二待检测图案，并根据第二待检测图案确定第二设计图案；根据第二设计图案构建第二检测模型，以基于第二检测模型获取第二待检测图案对应的轮廓版图为第二轮廓版图；将第一轮廓版图和第二轮廓版图重叠，检测第一轮廓版图和第二轮廓版图中相关目标结构待测边界之间的边界距离，并根据所述边界距离及预设检测规则确定是否调整第一待检测图案和/或第二待检测图案中相关目标结构的轮廓版图。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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