[发明专利]低氧含量钼铌合金靶材及其制备方法在审
申请号: | 202310292353.2 | 申请日: | 2023-03-23 |
公开(公告)号: | CN116288187A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 李庆奎;吴小超;蔡豪;张龙振;杨凯军;何季麟 | 申请(专利权)人: | 郑州大学 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F5/00;B22F3/02;B22F3/10 |
代理公司: | 北京卫智易创专利代理事务所(普通合伙) 16015 | 代理人: | 朱春野 |
地址: | 450001 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明实施例公开了低氧含量钼铌合金靶材的制备方法,包括步骤:(1)取设定量的金属铌粉、金属钼粉和氟化铝添加剂,混合得到混合料;(2)将得到的混合料模压成型,得到钼铌合金靶材生坯;(3)将得到的钼铌合金靶材生坯在升高的压力下进行压制;(4)依照设置的升温机制升温,压制后的钼铌合金靶材生坯在升高的温度下烧结,烧结保温设定时间后,冷却,得到低氧含量钼铌合金靶材。低氧含量钼铌合金靶材的制备方法利用氟化铝添加剂作为除氧剂,在靶材生坯烧结过程中,利用氟化铝与五氧化二铌反应,生成易升华的产物,有效降低了产物中的氧含量,得到了氧含量较低的钼铌合金。 | ||
搜索关键词: | 低氧 含量 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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