[发明专利]低氧含量钼铌合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：

(1)取设定量的金属铌粉、金属钼粉和氟化铝添加剂，混合得到混合料；

(2)将得到的混合料模压成型，得到钼铌合金靶材生坯；

(3)将得到的钼铌合金靶材生坯在升高的压力下进行压制；

(4)依照设置的升温机制升温，压制后的钼铌合金靶材生坯在升高的温度下烧结，烧结保温设定时间后，冷却，得到低氧含量钼铌合金靶材。

2.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，所述混合料中，金属铌粉的质量含量为10％，氟化铝添加剂的质量含量不大于4％，余量为金属钼粉。

3.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，所述金属钼粉的费氏粒度为1～5μm，氧含量约为2000ppm；所述金属铌粉的费氏粒度为20～90μm，氧含量约为2000ppm；所述氟化铝添加剂的费氏粒度为1～5μm。

4.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，所述金属铌粉、所述金属钼粉和所述氟化铝添加剂以球磨方式进行混合。

5.根据权利要求4所述的低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，球磨混合过程中，混料时间为24h以上，球磨机转速为150～250r/min；采用规格为φ10mm和φ5mm的两种钼制磨球，两种磨球的质量比为1:1。

6.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，混合料模压成型的压力为50～150MPa，保压时间为30～120s。

7.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，所述钼铌合金靶材生坯在升高的压力150～250MPa下压制，压制保压时间为300～600s。

8.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，所述升温机制包括：

室温升温至300℃的过程中，其第一升温速率为2～7℃/min；

然后以第二升温速率2～7℃/min，升温到800～1100℃时，在该温度下保温3h；

然后以第三升温速率2～7℃/min，升温到1900～2100℃时，在该温度下保温6h；

然后停止加热，随炉冷却至室温。

9.根据权利要求8所述的低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，其特征在于，所述第二升温速率大于所述第一升温速率，所述第三升温速率大于所述第二升温速率。

10.低氧含量钼铌合金靶材，其特征在于，由权利要求1～9任一项所述的制备方法得到。