[发明专利]一种全自动涂胶机在审
| 申请号： | 202310256949.7 | 申请日： | 2023-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN116273741A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 钱君;王利;莫科伟 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C5/02;B05C9/14;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人： | 王嘉佩 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种全自动涂胶机，包括旋升装置、安装在旋升装置上的移料装置、位于旋升装置周围的定位装置、涂胶装置、加热装置和冷却装置、分别安装在加热装置和冷却装置上的辅助上下料装置以及安装在涂胶装置上的涂胶上下料装置，其中，定位装置用于放置花篮，旋升装置和移料装置用于带动晶圆在定位装置、涂胶装置、加热装置和冷却装置之间移动，辅助上下料装置用于加热装置和冷却装置的上下料，涂胶上下料装置用于涂胶装置的上下料。该全自动涂胶机整体结构紧凑、体积小，由于采用旋转的方式实现晶圆在不同工位的切换，极大地缩短了转运时间，提高了效率，并且简化了结构，控制也更加简单，不易出现故障，提高了运行的稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 涂胶 | ||
【主权项】：
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