[发明专利]一种全自动涂胶机

权利要求书

1.一种全自动涂胶机，其特征在于，包括旋升装置(2)、安装在所述旋升装置(2)上的移料装置(3)、位于所述旋升装置(2)周围的定位装置(1)、涂胶装置(4)、加热装置(8)和冷却装置(6)、分别安装在所述加热装置(8)和所述冷却装置(6)上的辅助上下料装置(7)以及安装在所述涂胶装置(4)上的涂胶上下料装置(5)，其中，所述定位装置(1)用于放置花篮(9)，所述旋升装置(2)和所述移料装置(3)用于带动晶圆在所述定位装置(1)、涂胶装置(4)、加热装置(8)和冷却装置(6)之间移动，所述辅助上下料装置(7)用于所述加热装置(8)和所述冷却装置(6)的上下料，所述涂胶上下料装置(5)用于所述涂胶装置(4)的上下料。

2.根据权利要求1所述的一种全自动涂胶机，其特征在于，

所述移料装置(3)包括：

移料直线模组(32)，所述移料直线模组(32)与所述旋升装置(2)连接；及

移料托板(31)，所述移料托板(31)安装在所述移料直线模组(32)上，所述移料托板(31)的中心设有中间插槽(313)，所述移料托板(31)的两侧分别设有侧插槽(314)。

3.根据权利要求2所述的一种全自动涂胶机，其特征在于，

所述移料托板(31)上还设有固定槽(312)，所述固定槽(312)与所述中间插槽(313)和所述侧插槽(314)相通，用于放置所述晶圆。

4.根据权利要求3所述的一种全自动涂胶机，其特征在于，

所述固定槽(312)的底部设有下凹槽(311)。

5.根据权利要求2所述的一种全自动涂胶机，其特征在于，

所述移料托板(31)为陶瓷薄板。

6.根据权利要求2至5任一项所述的一种全自动涂胶机，其特征在于，

所述涂胶上下料装置(5)包括：

涂胶支撑杆(51)，所述涂胶支撑杆(51)环形阵列设有三个，且分别与所述中间插槽(313)和所述侧插槽(314)相对设置，所述涂胶支撑杆(51)活动安装在所述涂胶装置(4)上，且位于所述涂胶装置(4)的真空吸盘(44)的周围；及

涂胶升降装置，所述涂胶升降装置安装在涂胶装置(4)上，且与所述涂胶支撑杆(51)连接，用于升降所述涂胶支撑杆(51)。

7.根据权利要求6所述的一种全自动涂胶机，其特征在于，

所述涂胶升降装置包括：

涂胶升降环(52)，所述涂胶支撑杆(51)安装在所述涂胶升降环(52)上，所述涂胶升降环(52)滑动安装在所述涂胶装置(4)的涂胶旋转座(42)上；

涂胶导向轴(53)，所述涂胶导向轴(53)安装在所述涂胶装置(4)上，所述涂胶升降环(52)滑动安装在所述涂胶导向轴(53)上；及

涂胶气缸(55)，所述涂胶气缸(55)安装在所述涂胶装置(4)上，且与所述涂胶升降环(52)连接。

8.根据权利要求2至5任一项所述的一种全自动涂胶机，其特征在于，

所述旋升装置(2)包括：

旋升架；

第一升降直线模组(26)，所述第一升降直线模组(26)安装在所述旋升架上；

第一旋转装置(27)，所述第一旋转装置(27)安装在所述第一升降直线模组(26)上；及

第一升降轴(28)，所述第一升降轴(28)分别与所述第一旋转装置(27)和所述移料装置(3)连接。