[发明专利]一种晶圆传送载具充气夹紧装置

摘要

本发明涉及一种晶圆传送载具充气夹紧装置，包括台面、夹紧装置和充气装置，所述夹紧装置和充气装置安装在台面的底部，夹紧装置上设有钩爪，所述钩爪通过驱动部件贯穿所述台面与晶圆传送载具的底座活动连接，所述台面外周上设有四个充气接头，所述充气接头与晶圆传送载具的进气出气口连接，所述充气装置通过两条进气管路与其中的两个充气接头相连接，另外两个充气接头作为出气管路。本发明在独立脱机设备的充气盘面上增加载具夹紧装置，钩住载具并对其施加一定的拉力，使载具紧密贴合在充气盘面的台面上，解决了载具抖动和可能被大气流吹起来的问题，也提升了充气效果。