[发明专利]一种晶圆传送载具充气夹紧装置

权利要求书

1.一种晶圆传送载具充气夹紧装置，其特征在于：包括台面（1）、夹紧装置（2）和充气装置（3），所述夹紧装置（2）和充气装置（3）安装在台面（1）的底部，夹紧装置（2）上设有钩爪（24），所述钩爪（24）通过驱动部件贯穿所述台面（1）与晶圆传送载具的底座（51）活动连接，所述台面（1）外周上设有四个充气接头（14），所述充气接头（14）与晶圆传送载具的进气出气口连接，所述充气装置（3）通过两条进气管路与其中的两个充气接头（14）相连接，另外两个充气接头（14）作为出气管路；

所述夹紧装置（2）包括升降气缸（21）、张紧气缸（22），所述升降气缸（21）安装在台面（1）中间的底部，所述升降气缸（21）的输出端与张紧气缸（22）在上下方向上传动连接，张紧气缸（22）的输出端与钩爪（24）在水平方向上传动连接；所述台面（1）的底部还设有两个气缸电磁阀（23），气缸电磁阀（23）与升降气缸（21）、张紧气缸（22）连接，进行单独电磁控制；

所述钩爪（24）包括第一爪体（25）和第二爪体（26），所述第一爪体（25）与第二爪体（26）均为钩状结构，所述第二爪体（26）位于两个第一爪体（25）之间，所述第一爪体（25）与张紧气缸（22）的一侧输出块传动连接，第二爪体（26）与张紧气缸（22）的另一侧输出块传动连接；

当张紧气缸（22）工作时，带动两个爪体相互靠近或者相互远离，来伸入至载具（5）的底座（51）所在的夹持孔中将载具（5）整体夹持固定牢固；当载具（5）放货后钩爪（24）上升，在气缸上升感应器检测到上升完成后钩爪（24）张开，在感应器检测到钩爪（24）张开完成后钩爪（24）下降，钩住并拉住载具（5）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送载具充气夹紧装置，其特征在于：所述充气装置（3）设有两条进气管路，每条进气管路上均串联有减压阀（31）和气管电磁阀（32），两条进气管路通过三通管（12）分别与两个充气接头（14）连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送载具充气夹紧装置，其特征在于：两条进气管路上还分别设有流量传感器（33）和压力传感器（34）。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆传送载具充气夹紧装置，其特征在于：每个充气接头（14）的外周设有与台面（1）弹性密封连接的密封圈（13）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆传送载具充气夹紧装置，其特征在于：所述台面（1）的外侧设有开关（11），所述台面（1）的一侧设有射频识别模块（15），所述台面（1）底部四端设有防震硅胶垫块（16）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆传送载具充气夹紧装置，其特征在于：所述台面（1）的顶部设有多个定位块（17），每个定位块（17）旁边设有光电传感器安装位（18）。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆传送载具充气夹紧装置，其特征在于：还包括安装板（4），所述安装板（4）的顶部设有凹槽并与台面（1）固定连接，将所述夹紧装置（2）和充气装置（3）密封起来，安装板（4）的底部设有与外部设备的台架固定的插板（41）。