[发明专利]一种模具、纳米线、制备方法及晶体管在审
| 申请号： | 202310173451.4 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116288185A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 卢年端;耿玓;王桂磊;赵超;李泠 | 申请（专利权）人： | 北京超弦存储器研究院;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B82Y40/00;B82Y30/00;H01L29/06;H01L29/41;C23C14/08;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种模具、纳米线、制备方法及晶体管，涉及半导体器件技术领域，以解决目前纳米线制备方法的无法适用于所有材料，具有一定的局限性，存在制备过程复杂，制备难度较高，制备方法通用性较差的问题。所述模具包括：模具本体，所述模具本体包括至少一个条状的凹槽；其中，在垂直于所述凹槽长度延伸方向上的所述凹槽的内径小于或等于100纳米。通过上述凹槽可以制备横向尺寸为纳米级的条状物体，可以通过同一个模具多次制备同种规格的条状物体，通过改变凹槽沿凹槽长度延伸方向上的截面形状和/或垂直于凹槽长度延伸方向上的截面形状，改变凹槽的制备规格，从而可以提高模具的实用性，降低物体的制备难度，提高物体的制备速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模具 纳米 制备 方法 晶体管 | ||
【主权项】：
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