[发明专利]一种SE结构制备方法及太阳能电池

摘要

本申请公开了一种SE结构制备方法及太阳能电池，属于太阳能电池领域，该方法包括：在N型晶体硅的正面印刷聚合物薄膜；在聚合物薄膜上的金属接触区印刷硼浆；硼浆透过聚合物薄膜与N型晶体硅接触；通过激光辐照硼浆，将硼浆内的硼离子掺杂进入N型晶体硅内，在金属接触区形成重掺区域；对N型晶体硅的正面进行清洗，去除聚合物薄膜；对硼浆在清洗后的N型晶体硅的正面进行硼扩散，在非金属接触区形成轻掺区域，以形成SE结构。本申请通过聚合物薄膜阻挡，一方面可以防止激光时离子溅射，使重掺区域宽度窄化且可控；另一方面可以有效的减少由于激光直掺造成的损伤及复合中心，从而有效改善电池开压及接触电阻。