[发明专利]一种SE结构制备方法及太阳能电池在审
| 申请号: | 202310166700.7 | 申请日: | 2023-02-13 |
| 公开(公告)号: | CN116110979A | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
| 发明(设计)人: | 马玉超;李红博;何保杨;蔡永梅;何胜;徐伟智 | 申请(专利权)人: | 正泰新能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 姚莹丽 |
| 地址: | 314400 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 se 结构 制备 方法 太阳能电池 | ||
1.一种SE结构制备方法,其特征在于,包括:
在N型晶体硅的正面印刷聚合物薄膜;
在所述聚合物薄膜上的金属接触区印刷硼浆;所述硼浆透过所述聚合物薄膜与所述N型晶体硅接触;
通过激光辐照所述硼浆,将所述硼浆内的硼离子掺杂进入所述N型晶体硅内,在所述金属接触区形成重掺区域;
对所述N型晶体硅的正面进行清洗,去除所述聚合物薄膜;
对所述硼浆在清洗后的所述N型晶体硅的正面进行硼扩散,在非金属接触区形成轻掺区域,以形成SE结构。
2.根据权利要求1所述的SE结构制备方法,其特征在于,所述对所述硼浆在清洗后的所述N型晶体硅的正面进行硼扩散,在非金属接触区形成轻掺区域,以形成SE结构后,还包括:
去除所述N型晶体硅的正面以外区域的硼;所述N型晶体硅的正面以外区域的硼是对所述硼浆在所述N型晶体硅的正面进行硼扩散后,扩散到所述N型晶体硅的正面以外区域的硼。
3.根据权利要求1所述的SE结构制备方法,其特征在于,所述印刷硼浆的宽度范围为40μm至120μm,且包含两端的值。
4.根据权利要求1所述的SE结构制备方法,其特征在于,所述掺杂的深度范围为0.8μm至2μm,且包含两端的值。
5.根据权利要求1所述的SE结构制备方法,其特征在于,所述激光的功率范围为100W至1000W,且包含两端的值。
6.根据权利要求1所述的SE结构制备方法,其特征在于,所述在N型晶体硅的正面印刷聚合物薄膜前,还包括:
对N型晶体硅进行制绒,形成绒面;
相应的,所述在N型晶体硅的正面印刷聚合物薄膜,包括:
在所述N型晶体硅的正面的绒面上印刷聚合物薄膜。
7.根据权利要求1所述的SE结构制备方法,其特征在于,所述重掺区域的方阻范围为10Ω/□至90Ω/□,且包含两端的值。
8.根据权利要求1所述的SE结构制备方法,其特征在于,所述轻掺区域的方阻范围为60Ω/□至200Ω/□,且包含两端的值。
9.根据权利要求1至8任一项所述的SE结构制备方法,其特征在于,所述聚合物薄膜,包括:树脂、氧化硅和制孔剂。
10.一种太阳能电池,其特征在于,包括:通过权利要求1至9任一项所述的SE结构制备方法制备的SE结构。
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