[发明专利]一种高渗透型低温脱胶剂在审
| 申请号: | 202310061350.8 | 申请日: | 2023-01-17 |
| 公开(公告)号: | CN116121001A | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
| 发明(设计)人: | 张小飞 | 申请(专利权)人: | 常州高特新材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C11D1/825 | 分类号: | C11D1/825;C11D3/20;C11D3/43;C11D3/60;C11D11/00;C11D1/78;C11D1/72 |
| 代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美华 |
| 地址: | 213025 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明属于硅片加工领域,具体涉及一种硅片切割脱胶用高渗透型低温脱胶剂,该脱胶剂的组分包括乳酸、渗透剂、表面活性剂、醇醚溶剂和去离子水。本发明的高渗透型低温脱胶剂,可实现低温快速脱胶,减少脱胶返工,明显提高脱胶效率,降低硅片不合格率,提升硅片切割工艺整体产能,并且具有制备方法简单,成本低廉的优点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 渗透 低温 脱胶 | ||
【主权项】:
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