[发明专利]一种高渗透型低温脱胶剂在审
| 申请号： | 202310061350.8 | 申请日： | 2023-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN116121001A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 张小飞 | 申请（专利权）人： | 常州高特新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/825 | 分类号： | C11D1/825;C11D3/20;C11D3/43;C11D3/60;C11D11/00;C11D1/78;C11D1/72 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 渗透 低温 脱胶 | ||
【权利要求书】：
1.一种高渗透型低温脱胶剂，其特征在于，包括乳酸、渗透剂、表面活性剂、醇/醚溶剂和去离子水。
2.根据权利要求1所述的高渗透型低温脱胶剂，其特征在于，按质量百分比计算，包括如下组分：
3.根据权利要求2所述的高渗透型低温脱胶剂，其特征在于，所述的渗透剂为脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚。
4.根据权利要求2所述的高渗透型低温脱胶剂，其特征在于，所述的表面活性剂为异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯或异癸醇聚氧乙烯醚磷酸酯。
5.根据权利要求2所述的高渗透型低温脱胶剂，其特征在于，所述的醇/醚溶剂为戊醇、己醇、二乙二醇丁醚中的任意一种。
6.制备权利要求2所述的高渗透型低温脱胶剂方法，其特征在于，向去离子水中加入乳酸、渗透剂、表面活性剂和醇/醚溶剂，搅拌均匀，制得高渗透型低温脱胶剂。
7.根据权利要求1或2所述的高渗透型低温脱胶剂，其特征在于，其在硅片脱胶工序中使用，脱胶温度为30℃～50℃，脱胶时间为300s～450s。
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