[发明专利]一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置在审
申请号: | 202310022515.0 | 申请日: | 2023-01-07 |
公开(公告)号: | CN116083856A | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 孟凡华;李剑;张秀明;闫超;王丽娟;荆学顺 | 申请(专利权)人: | 唐山斯腾光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 河北捷风专利代理事务所(特殊普通合伙) 13167 | 代理人: | 安文龙 |
地址: | 064100 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明涉及一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置,其中密封加工箱前端面设有密封箱门,内底面设有定位块a,左侧面和右侧面分别穿设有进气管和抽气管,定位块a的两侧设有电磁铁a;蒸发源机构位于密封加工箱内部的下端,其中储放件内部设有内电热丝,下端通过配重块与电磁铁a接触,上端可拆卸的设有盖罩,坩埚位于储放件上表面的放置槽内,基板限位机构位于蒸发源机构的正上方,其中支撑板上端通过电动伸缩杆与密封加工箱的内顶面连接,下端通过转盘轴承转动设有中间连接板,限位板可拆卸的设于中间连接板下方,导热挡板位于蒸发源机构和基板限位机构之间;控制箱位于密封加工箱的外部,本发明具有安装以及使用操作便捷且镀膜效果好的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外 窗片加 工用 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
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