[发明专利]一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置

说明书

本发明涉及一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其中密封加工箱前端面设有密封箱门，内底面设有定位块a，左侧面和右侧面分别穿设有进气管和抽气管，定位块a的两侧设有电磁铁a；蒸发源机构位于密封加工箱内部的下端，其中储放件内部设有内电热丝，下端通过配重块与电磁铁a接触，上端可拆卸的设有盖罩，坩埚位于储放件上表面的放置槽内，基板限位机构位于蒸发源机构的正上方，其中支撑板上端通过电动伸缩杆与密封加工箱的内顶面连接，下端通过转盘轴承转动设有中间连接板，限位板可拆卸的设于中间连接板下方，导热挡板位于蒸发源机构和基板限位机构之间；控制箱位于密封加工箱的外部，本发明具有安装以及使用操作便捷且镀膜效果好的优点。

技术领域

本发明属于蒸发镀膜技术领域，具体涉及一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置。

背景技术

红外窗片是一种常用的红外光源器件，用于隔离探测器内部系统与外界环境，其在加工的过程中，为提高其光学系统的性能，避免反射的光线进入系统而造成杂散光，影响系统信号的对比度和图像的清晰程度，需在其表面进行镀膜操作，其中蒸发镀膜技术凭借应用范围广、污染程度小等优点，被业内的技术人员所青睐，蒸发镀膜技术是通过在真空环境中，将有机材料加热、蒸发，而后镀制到窗片基板的表面；然而，现有的蒸发镀膜装置在使用时，存在镀膜不均匀的问题，同时，现有的蒸发镀膜装置由于密封加工箱内部空间有限，基板在限位机构上安装以及更换拆卸时，操作比较麻烦，并且，基板限位机构大多采用的是刚性固定连接，无法在镀膜的过程中对基板的角度进行转动调节；因此，为解决上述问题，开发一种安装以及使用操作便捷且镀膜效果好红外窗片加工用蒸发镀膜装置很有必要。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种安装以及使用操作便捷且镀膜效果好红外窗片加工用蒸发镀膜装置。

本发明的目的是这样实现的：一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，包括密封加工箱、蒸发源机构、基板限位机构、导热挡板和控制箱，所述密封加工箱为前端面设有开口的槽状结构，其开口端转动设置有密封箱门，内底面设有定位块a，且定位块a的两侧均设有电磁铁a，所述密封加工箱左侧面的中部固定穿设有进气管，右侧面的中部固定穿设有抽气管，进气管外接有控制阀门，抽气管外接有抽风机；

所述蒸发源机构位于密封加工箱内部的下端，其包括储放件、盖罩和坩埚，所述储放件位于电磁铁a的正上方，其上端设有放置槽，下端固定设有铁制的配重块，内部设有内电热丝，所述盖罩整体呈弧形，位于放置槽正上方，并与储放件可拆卸连接，且盖罩上均匀设有多个蒸发孔a，所述坩埚位于放置槽内部，且坩埚的上表面设置有多个蒸发孔b；

所述基板限位机构位于蒸发源机构的正上方，其包括支撑板、限位板和卡块，所述支撑板上端通过电动伸缩杆与密封加工箱的内顶面固定连接，下表面通过转盘轴承同心转动设置有中间连接板，中心处竖向转动穿设有转轴，所述转轴的下端与中间连接板同心固定连接，上端连有旋转电机，所述中间连接板下表面的中心处设置有凹槽，且凹槽内固定设有电磁铁b，所述限位板为铁制品，同心设置于中间连接板的正下方，所述卡块有两个，分别呈对称状可拆卸的设置于限位板下表面的两端；

所述导热挡板位于蒸发源机构和基板限位机构之间，其上表面通过支杆与密封加工箱的内顶面固定连接，下表面的四角处均设有加热电阻，中心处设有多个均布通孔；

所述控制箱位于密封加工箱左侧外表面的上端。

所述定位块a纵向固定设置于密封加工箱内底面的中间位置，所述配重块下表面的中心处纵向设置有定位块b，所述定位块b与所述定位块a的结构相同，均为半圆柱状结构，且定位块b和定位块a呈对称状设置。

所述支撑板上表面的中心处固定设置有电机支架，所述旋转电机固定设置于电机支架的上方。

所述电磁铁b的厚度与所述凹槽的深度相同。

所述盖罩的上表面均匀固定缠绕有外电热丝。