[发明专利]一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置

权利要求书

1.一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，包括密封加工箱(1)、蒸发源机构(2)、基板限位机构(3)、导热挡板(4)和控制箱(5)，其特征在于：所述密封加工箱(1)为前端面设有开口的槽状结构，其开口端转动设有密封箱门，内底面设有定位块a(11)，且定位块a(11)的两侧均设有电磁铁a(12)，所述密封加工箱(1)左侧面的中部固定穿设有进气管(13)，右侧面的中部固定穿设有抽气管(14)，进气管(13)外接有控制阀门，抽气管(14)外接有抽风机；

所述蒸发源机构(2)位于密封加工箱(1)内部的下端，其包括储放件(21)、盖罩(22)和坩埚(23)，所述储放件(21)位于电磁铁a(12)的正上方，其上端设有放置槽(211)，下端固定设有铁制的配重块(24)，内部设有内电热丝(25)，所述盖罩(22)整体呈弧形，位于放置槽(211)正上方，并与储放件(21)可拆卸连接，且盖罩(22)上均匀设有多个蒸发孔a(221)，所述坩埚(23)位于放置槽(211)内部，且坩埚(23)的上表面设有多个蒸发孔b(231)；

所述基板限位机构(3)位于蒸发源机构(2)的正上方，其包括支撑板(31)、限位板(32)和卡块(33)，所述支撑板(31)上端通过电动伸缩杆(34)与密封加工箱(1)的内顶面固定连接，下表面通过转盘轴承同心转动设置有中间连接板(35)，中心处竖向转动穿设有转轴(36)，所述转轴(36)的下端与中间连接板(35)同心固定连接，上端连有旋转电机(37)，所述中间连接板(35)下表面的中心处设置有凹槽(351)，且凹槽(351)内固定设有电磁铁b(352)，所述限位板(32)为铁制品，同心设置于中间连接板(35)的正下方，所述卡块(33)有两个，分别呈对称状可拆卸的设置于限位板(32)下表面的两端；

所述导热挡板(4)位于蒸发源机构(2)和基板限位机构(3)之间，其上表面通过支杆(41)与密封加工箱(1)的内顶面固定连接，下表面的四角处均设有加热电阻(42)，中心处设有多个均布通孔(43)；

所述控制箱(5)位于密封加工箱(1)左侧外表面的上端。

2.如权利要求1所述的一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其特征在于：所述定位块a(11)纵向固定设置于密封加工箱(1)内底面的中间位置，所述配重块(24)下表面的中心处纵向设置有定位块b(26)，所述定位块b(26)与所述定位块a(11)的结构相同，均为半圆柱状结构，且定位块b(26)和定位块a(11)呈对称状设置。

3.如权利要求1所述的一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其特征在于：所述支撑板(31)上表面的中心处固定设置有电机支架(38)，所述旋转电机(37)固定设置于电机支架(38)的上方。

4.如权利要求1所述的一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其特征在于：所述电磁铁b(352)的厚度与所述凹槽(351)的深度相同。

5.如权利要求1所述的一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其特征在于：所述盖罩(22)的上表面均匀固定缠绕有外电热丝(27)。

6.如权利要求1所述的一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其特征在于：所述卡块(33)整体呈L型，其一端位于基板的下方，对基板进行限位，另一端螺纹转动穿设有螺纹杆(39)，并通过螺纹杆(39)与限位板(32)限位连接。

7.如权利要求1所述的一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其特征在于：所述盖罩(22)上端的两侧分别呈对称状固定设置倾斜的翼板(28)。

8.如权利要求1所述的一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其特征在于：所述电磁铁a(12)、电磁铁b(352)、电动伸缩杆(34)、旋转电机(37)以及内电热丝(25)均通过导线与控制箱(5)电连接。