[实用新型]一种可用于芯片清洗的双向液体增压泵有效
| 申请号： | 202223523414.1 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN219159117U | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李海滨;陈松;周恩元;火耿慧;蒋佩献 | 申请（专利权）人： | 上海兆帕流体动力有限公司 |
| 主分类号： | F04B9/125 | 分类号： | F04B9/125;F04B49/22;F04B53/10;F04B53/00;F04B53/14;F04B53/16;F04B53/12 |
| 代理公司： | 上海索源知识产权代理有限公司 31431 | 代理人： | 温转萍 |
| 地址： | 201612 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及芯片清洗增压泵技术领域，尤其涉及一种可用于芯片清洗的双向液体增压泵。其技术方案包括：包括气缸主体和高压缸体，气缸主体两端安装有缸盖，缸盖上安装有驱动管口，高压缸体与气缸主体之间通过延长隔离套固定连接，气缸主体内滑动连接有活塞板，高压缸体内滑动连接有高压活塞，活塞板上固定连接有活塞杆，活塞杆端部穿过延长隔离套且螺纹固定在高压活塞上。本实用新型利用增压泵对清洗液进行增压，从而实现对芯片进行清洗的目的，并且根据芯片清洗特点，将高压活塞后端采用隔离结构，实现气液隔离，并且采用多道单向阀结构，实现了双向液体增压的目的，满足芯片清洗连续压力且超洁净的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 清洗 双向 液体 增压泵 | ||
【主权项】：
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