[实用新型]一种可用于芯片清洗的双向液体增压泵

说明书

本实用新型涉及芯片清洗增压泵技术领域，尤其涉及一种可用于芯片清洗的双向液体增压泵。其技术方案包括：包括气缸主体和高压缸体，气缸主体两端安装有缸盖，缸盖上安装有驱动管口，高压缸体与气缸主体之间通过延长隔离套固定连接，气缸主体内滑动连接有活塞板，高压缸体内滑动连接有高压活塞，活塞板上固定连接有活塞杆，活塞杆端部穿过延长隔离套且螺纹固定在高压活塞上。本实用新型利用增压泵对清洗液进行增压，从而实现对芯片进行清洗的目的，并且根据芯片清洗特点，将高压活塞后端采用隔离结构，实现气液隔离，并且采用多道单向阀结构，实现了双向液体增压的目的，满足芯片清洗连续压力且超洁净的要求。

技术领域

本实用新型涉及芯片清洗增压泵技术领域，尤其涉及一种可用于芯片清洗的双向液体增压泵。

背景技术

芯片清洗是一种利用增压泵对清洗液进行加压，使其喷出，对芯片表面进行清洗的方法，其中增压泵是整个清洗环节重要的驱动元件。

现在市场上常用的芯片清洗用液体增压泵一般为单气缸单向增压泵，其在对于气体介质与清洗液之间的气液分离没有专用的隔离组件，容易出现气液混溶的情况，无法满足芯片清洗连续压力且超洁净的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出的一种可用于芯片清洗的双向液体增压泵。

本实用新型的技术方案：一种可用于芯片清洗的双向液体增压泵，包括气缸主体和高压缸体，所述气缸主体两端安装有缸盖，所述缸盖上安装有驱动管口，所述高压缸体与气缸主体之间通过延长隔离套固定连接，所述气缸主体内滑动连接有活塞板，所述高压缸体内滑动连接有高压活塞，所述活塞板上固定连接有活塞杆，所述活塞杆端部穿过延长隔离套且螺纹固定在高压活塞上，所述高压活塞上与活塞杆端部连接处安装有内部单向阀和相适配的感应换向阀组件，所述高压缸体端部安装有进液管，所述高压缸体上端安装有排液管，所述进液管和排液管内均安装有端口单向阀。

优选的，所述缸盖上安装有消音器，保证整个增压泵在工作时，不会出现较大的噪音。

优选的，所述活塞板与高压活塞外侧均安装有密封圈，保证活塞板与高压活塞与相对应的缸体内壁连接处的密封性，不会出现缸体内压不足的情况。

优选的，所述延长隔离套内安装有用于隔离圈，保证气缸内的气体与高压缸体内的液体充分隔离。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：利用增压泵对清洗液进行增压，从而实现对芯片进行清洗的目的，并且根据芯片清洗特点，将高压活塞后端采用隔离结构，实现气液隔离，并且采用多道单向阀结构，实现了双向液体增压的目的，满足芯片清洗连续压力且超洁净的要求。

附图说明

图1为本实用新型内部剖切结构示意图。

附图标记：1、驱动管口；2、消音器；3、气缸主体；4、缸盖；5、延长隔离套；6、排液管；7、高压缸体；8、进液管；9、活塞板；10、活塞杆；11、内部单向阀；12、高压活塞；13、端口单向阀。

具体实施方式

下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。