[实用新型]一种功率半导体掩模版清洗的批量传输装置有效
| 申请号： | 202223403501.3 | 申请日： | 2022-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN219273826U | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 黄执祥;王栋 | 申请（专利权）人： | 深圳市龙图光罩股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广东普润知识产权代理有限公司 44804 | 代理人： | 寇闯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区新桥街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，包括结构板有两个且两个结构板间隔设置，每一结构板上设置挂钩；底卡尺有至少一个，底卡尺设置在两个所述结构板之间靠近下部的位置，底卡尺具的顶面具有用于由底部定位掩模版的若干个第一卡槽；侧卡尺有两个，两个侧卡尺设置在结构板之间，且两个侧卡尺分别设置在底卡尺左右两侧且位于底卡尺的上方，侧卡尺的内侧具有用于由掩模版侧面边缘定位掩模版的若干第二卡槽，第一卡槽和第二卡槽数量相同且位置逐一匹配。本掩模版清洗的批量传输装置通过侧卡尺和底卡尺的配合，可通过第一卡槽和第二卡槽一次性稳定加装多片掩模版，掩模版侧面和底面均被限位，在掩模版清洗的过程中掩模版的位置稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 半导体 模版 清洗 批量 传输 装置 | ||
【主权项】：
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