[实用新型]一种功率半导体掩模版清洗的批量传输装置

权利要求书

1.一种功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：包括

结构板，所述结构板有两个且两个所述结构板间隔设置，每一所述结构板上设置挂钩；

底卡尺，所述底卡尺有至少一个，所述底卡尺设置在两个所述结构板之间靠近下部的位置，所述底卡尺具的顶面具有用于由底部定位掩模版的若干个第一卡槽；

侧卡尺，所述侧卡尺有两个，两个所述侧卡尺设置在结构板之间，且两个所述侧卡尺分别设置在底卡尺左右两侧且位于所述底卡尺的上方，所述侧卡尺的内侧具有用于由掩模版侧面边缘定位掩模版的若干第二卡槽，所述第一卡槽和所述第二卡槽数量相同且位置逐一匹配。

2.根据权利要求1所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述结构板避位底卡尺和/或侧卡尺安装位置处设有用于减重的镂空区。

3.根据权利要求1所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述底卡尺有两个，且分别位于掩模版放置位置的底侧边缘位置。

4.根据权利要求1所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述底卡尺和所述侧卡尺相互平行，且均垂直于所述结构板的延展面。

5.根据权利要求1所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述结构板宽度方向的两侧均开设有镂空的安装通道，所述安装通道具有安装所述侧卡尺的第一放置位和第二放置位，以对应固定两种规格尺寸的掩模版；所述安装通道为横置的“F”形。

6.根据权利要求1所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述结构板的底部边角处设有用于使所述结构板外接定位结构的卡脚。

7.根据权利要求1-6任一项所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述第二卡槽为横截面为梯形的环形槽。

8.根据权利要求7所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述侧卡尺的外壁和所述第二卡槽的侧壁之间的连接处为圆滑的倒角结构。

9.根据权利要求1-6任一项所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述第一卡槽的宽度为4mm，所述第二卡槽的开口宽度为8.75mm，所述第二卡槽的槽底宽度为4mm。

10.根据权利要求1-6任一项所述的功率半导体掩模版清洗的批量传输装置，其特征在于：所述第一卡槽的宽度为3mm，所述第二卡槽的开口宽度为8.75mm，所述第二卡槽的槽底宽度为3mm。