[实用新型]一种箱式真空镀膜机的进出料机构有效
| 申请号： | 202223210874.9 | 申请日： | 2022-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN218666237U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 韩小亮 | 申请（专利权）人： | 吉林宇亮光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京励为众创知识产权代理有限公司 11811 | 代理人： | 赵德世 |
| 地址： | 130000 吉林省长春市北湖科技开发区明*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体是一种箱式真空镀膜机的进出料机构，包括：箱体，所述箱体上设置有箱门，所述箱体顶部设置有真空设备，用于箱体内的真空处理，所述箱体内还固定安装有镀膜设备，所述镀膜设备一侧设置有靶材，用于镀膜处理；靶材放置组件，所述靶材放置组件设置在箱体内的镀膜设备一侧，用于镀膜时镀膜材料靶材的放置处理；送料组件，所述送料组件设置在靶材放置组件一侧，用于对靶材放置组件内放置的靶材进行输送从而使得靶材达到镀膜设备内进行镀膜；该机构在镀膜机进行镀膜时能够自动的将镀膜靶材传递至镀膜机内进行镀膜，从而提高镀膜工作效率与质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 箱式 真空镀膜 进出 机构 | ||
【主权项】：
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