[实用新型]一种箱式真空镀膜机的进出料机构

权利要求书

1.一种箱式真空镀膜机的进出料机构，其特征在于，包括：箱体，所述箱体上设置有箱门，所述箱体顶部设置有真空设备，用于箱体内的真空处理，所述箱体内还固定安装有镀膜设备，所述镀膜设备一侧设置有靶材，用于镀膜处理；

靶材放置组件，所述靶材放置组件设置在箱体内的镀膜设备一侧，用于镀膜时镀膜材料靶材的放置处理；

送料组件，所述送料组件设置在靶材放置组件一侧，用于对靶材放置组件内放置的靶材进行输送从而使得靶材达到镀膜设备内进行镀膜。

2.根据权利要求1所述的一种箱式真空镀膜机的进出料机构，其特征在于，所述靶材放置组件包括：

放置框架，所述放置框架固定在箱体的内部一侧，所述靶材依次叠放在放置框架内；

弹簧，所述弹簧一端固定在放置框架的顶部，所述弹簧另一端连接有置于放置框架内侧的压板，用于压制放置框架内的靶材向下运动；

落料框，所述落料框固定在放置框架的底部，用于靶材的掉落承载并方便由落料框内推动送料。

3.根据权利要求2所述的一种箱式真空镀膜机的进出料机构，其特征在于，所述送料组件包括：

转动板，所述转动板设置在放置框架一侧的箱体内部，且所述转动板一端的板体上固定有固定柱；

摇板，所述摇板转动安装在转动板一侧的箱体上且所述摇板上设置有活动槽，所述固定柱设置在活动槽内；

固定槽框，所述固定槽框固定在落料框一侧且所述固定槽框上设置有滑槽，所述滑槽内滑动安装有滑块，所述摇板一端转动安装在滑块上，且所述滑块一侧设置有推块。

4.根据权利要求3所述的一种箱式真空镀膜机的进出料机构，其特征在于，所述推块与滑块之间设置有锁定螺母，所述推块在滑块上的安装位置可调节变化，从而使得推块推动靶材的距离得以变化。

5.根据权利要求3所述的一种箱式真空镀膜机的进出料机构，其特征在于，所述落料框设置有开口，从而方便推块随着滑块运动时在落料框内推动靶材。