[实用新型]硅片稳定翻转装置

摘要

本申请揭示了一种硅片稳定翻转装置，包括：基座，内部设有安置腔，安置腔内部设置有安置条，安置条上设有定位件；翻转机构，包括第一驱动装置、翻转件和第一空窗，翻转件上设置有翻转吸盘；承接机构，包括第二驱动装置、承接件和第二空窗，承接件上设置有承接吸盘，其中，承接件和翻转件错位设置；转移装置。本实用新型提供的硅片稳定翻转装置，通过翻转件的翻转以及承接件的承接将硅片的翻转分解为两个步骤，每个步骤翻转吸盘或承接吸盘均位于硅片下侧对硅片进行承托，将硅片平稳放置，实现对硅片的稳定翻转，硅片不存在掉落的风险，硅片翻转的可靠性、稳定性更高。且仅通过定位件即能对硅片位置进行限定，结构简单，定位准确。