[实用新型]硅片稳定翻转装置

权利要求书

1.一种硅片稳定翻转装置，其特征在于，包括：

基座(100)，内部设有安置腔(101)，所述安置腔(101)内部设置有安置条(102)，所述安置条(102)设置于所述安置腔(101)长度方向的中部且沿所述安置腔(101)宽度方向延伸，所述安置条(102)上设有定位件(103)；

翻转机构(200)，包括第一驱动装置(201)、翻转件(202)和第一空窗(203)，所述第一驱动装置(201)固定设置在所述基座(100)前端面，所述翻转件(202)铰接于所述安置条(102)，所述翻转件(202)上端面设置有至少一个翻转吸盘(205)；

承接机构(300)，包括第二驱动装置(301)、承接件(302)和第二空窗(303)，所述第二驱动装置(301)固定设置在所述基座(100)后端面，所述承接件(302)铰接于所述安置条(102)，所述承接件(302)上端面设置有至少一个承接吸盘(305)，其中，所述承接件(302)和所述翻转件(202)错位设置，且位于所述安置条(102)在所述安置腔(101)长度方向的两侧；

转移装置(400)，设置于所述基座(100)宽度方向两端。

2.根据权利要求1所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，所述转移装置(400)的上表面超出于所述硅片稳定翻转装置的上表面。

3.根据权利要求1所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，所述翻转件(202)和所述承接件(302)分别位于硅片宽度方向的两端，且在所述硅片宽度方向上间隔设置。

4.根据权利要求1所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，多个所述翻转吸盘(205)的上表面与所述翻转件(202)上表面平齐；多个所述承接吸盘(305)的上表面与所述承接件(302)上表面平齐。

5.根据权利要求4所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，所述翻转件(202)上表面和所述承接件(302)上表面设置有缓冲层。

6.根据权利要求4所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，所述翻转件(202)和所述承接件(302)的上表面设置有防滑结构。

7.根据权利要求4所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，所述基座(100)上设置有与所述翻转吸盘(205)连接的第一气压泵(204)；所述基座(100)上设置有与所述承接吸盘(305)连接的第二气压泵(304)。

8.根据权利要求1所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，所述定位件(103)上设置有柔性保护件。

9.根据权利要求1所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，所述基座(100)下端面设置有四个长度可调的支撑腿(104)。

10.根据权利要求9所述的硅片稳定翻转装置，其特征在于，所述支撑腿(104)的长度采用液压的方式调节。