[实用新型]一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备

摘要

本实用新型提出了一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，包括运动平台底座、移动模组、激光位移传感器固定座、激光位移传感器、控制盒和芯片夹持固定座，运动平台底座的顶部固定有用于传输运动的移动模组。该氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，其运动介质由激光位移传感器改为氮氧传感器陶瓷芯片运动，氮氧传感器陶瓷芯片质轻，利用移动模组的平行运动，不会产生运动间隙的晃动，因此检测的数据不会有波动，直接设置两组激光位移传感器，分别分为水平方向激光位移传感器和垂直方向激光位移传感器，无需变换检测方向，氮氧传感器陶瓷芯片位移到检测范围内可以直接检测，方便快捷。