[实用新型]一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备

权利要求书

1.一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，包括运动平台底座(1)、移动模组(2)、激光位移传感器固定座(3)、激光位移传感器、控制盒(7)和芯片夹持固定座(6)，运动平台底座(1)的顶部固定有用于传输运动的移动模组(2)，运动平台底座(1)的顶部还固定有位于移动模组(2)后侧的激光位移传感器固定座(3)，其中，激光位移传感器固定座(3)上设置有激光位移传感器，运动平台底座(1)的固定有位于激光位移传感器固定座(3)左侧的控制盒(7)，移动模组(2)上滑动有芯片夹持固定座(6)，用于对芯片夹持，方便检测不晃动，其特征在于：

所述激光位移传感器包括水平方向激光位移传感器(801)和垂直方向激光位移传感器(802)，所述激光位移传感器固定座(3)的顶部前侧设有固定块一(4)，固定块一(4)的前侧与垂直方向激光位移传感器(802)连接，激光位移传感器固定座(3)的底部前侧设有固定块二(5)，固定块二(5)的前侧与水平方向激光位移传感器(801)固定，其中，水平方向激光位移传感器(801)和垂直方向激光位移传感器(802)的激光朝向相互垂直。

2.如权利要求1所述的一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，其特征在于，所述芯片夹持固定座(6)包括载物台(601)、挡板(602)和磁性压块(603)，载物台(601)的底部与移动模组(2)的顶部滑动，载物台(601)的左后侧固定有呈L型的挡板(602)，载物台(601)的顶部磁吸有磁性压块(603)，用于与载物台(601)磁吸后对芯片限位。

3.如权利要求1所述的一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，其特征在于，所述运动平台底座(1)的顶部固定有位于移动模组(2)前侧的激光挡板(9)，水平方向激光位移传感器(801)的激光光束对应照射在激光挡板(9)的背面。

4.如权利要求1所述的一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，其特征在于，所述控制盒(7)分别与移动模组(2)、水平方向激光位移传感器(801)和垂直方向激光位移传感器(802)电连接。