[实用新型]一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备

说明书

本实用新型提出了一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，包括运动平台底座、移动模组、激光位移传感器固定座、激光位移传感器、控制盒和芯片夹持固定座，运动平台底座的顶部固定有用于传输运动的移动模组。该氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，其运动介质由激光位移传感器改为氮氧传感器陶瓷芯片运动，氮氧传感器陶瓷芯片质轻，利用移动模组的平行运动，不会产生运动间隙的晃动，因此检测的数据不会有波动，直接设置两组激光位移传感器，分别分为水平方向激光位移传感器和垂直方向激光位移传感器，无需变换检测方向，氮氧传感器陶瓷芯片位移到检测范围内可以直接检测，方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及氮氧传感器陶瓷芯片检测技术领域，具体涉及一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备。

背景技术

氮氧传感器芯片是利用电化学原理，通过测量电流大小，其能精确测试出汽车尾气中NOx含量，主要应用于商用车氮氧传感器，芯片内集成有加热器的多层传感元件能在长期使用后依旧保持测量精准的性能。

氮氧传感器陶瓷芯片的平直度直接影响到装配质量，产品质量，现有检测手段多为测具测量，精准度有限，不能精确的测出芯片小范围内的尺寸。

发明专利公开号为CN 110514122 B公开了基于激光位移传感器的微阵列盖片二维检测方法及装置，该专利公开了：设置激光位移传感器垂直于微阵列盖片的正面；将激光位移传感器沿着微阵列盖片的各个凸面的水平方向和竖直方向移动，测得若干数据；利用测得的若干数据计算每个凸面在水平方向和竖直方向的平均值和变异系数，基于计算得到的平均值和变异系数判断微阵列盖片是否弯曲变形。

上述专利中，将激光位移传感器沿着微阵列盖片的各个凸面的水平方向和竖直方向移动，测得若干数据，但激光位移传感器的架构体积较大，在做水平方向和竖直方向移动时，容易产生运动间隙的晃动，因此检测的数据也会有波动。

实用新型内容

本实用新型提出一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，解决了上述背景技术提到的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种氮氧传感器陶瓷芯片平直度检测设备，包括运动平台底座、移动模组、激光位移传感器固定座、激光位移传感器、控制盒和芯片夹持固定座，运动平台底座的顶部固定有用于传输运动的移动模组，运动平台底座的顶部还固定有位于移动模组后侧的激光位移传感器固定座，其中，激光位移传感器固定座上设置有激光位移传感器，运动平台底座的固定有位于激光位移传感器固定座左侧的控制盒，移动模组上滑动有芯片夹持固定座，用于对芯片夹持，方便检测不晃动；

所述激光位移传感器包括水平方向激光位移传感器和垂直方向激光位移传感器，所述激光位移传感器固定座的顶部前侧设有固定块一，固定块一的前侧与垂直方向激光位移传感器连接，激光位移传感器固定座的底部前侧设有固定块二，固定块二的前侧与水平方向激光位移传感器固定，其中，水平方向激光位移传感器和垂直方向激光位移传感器的激光朝向相互垂直。

在众多可能的方案中，优选的方案为，所述芯片夹持固定座包括载物台、挡板和磁性压块，载物台的底部与移动模组的顶部滑动，载物台的左后侧固定有呈L型的挡板，载物台的顶部磁吸有磁性压块，用于与载物台磁吸后对芯片限位。

在众多可能的方案中，优选的方案为，运动平台底座的顶部固定有位于移动模组前侧的激光挡板，水平方向激光位移传感器的激光光束对应照射在激光挡板的背面。

在众多可能的方案中，优选的方案为，所述控制盒分别与移动模组、水平方向激光位移传感器和垂直方向激光位移传感器电连接。

本申请提供的技术方案带来的有益效果：