[实用新型]晶圆包装盒检测设备有效
| 申请号： | 202222985379.9 | 申请日： | 2022-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN218673608U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 邱摩西;何江波;谭文明 | 申请（专利权）人： | 义柏应用技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01B11/00;G01B11/30;G01D21/02 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 夏锐文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街1号1栋厂房101-301，2栋厂房101-501*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种晶圆包装盒检测设备，包括机架、治具组件和检测机构；所述治具组件设于所述机架上，用于供待检测晶圆包装盒放置；所述检测机构设于所述机架上且与所述治具组件相对设置，用于对待检测晶圆包装盒进行检测；所述检测机构包括用于将校准晶圆移动至所述待检测晶圆包装盒内的晶圆取放料组件，用于对所述待检测晶圆包装盒进行图像采集的视觉测量组件，以及用于对所述待检测晶圆包装盒的取放料口进行平面度检测的平面度测量组件。该晶圆包装盒检测设备能够实际模拟晶圆包装盒最终的使用条件下进行间距与平面度的高精度快速测量，大大节约了检测的效率与提高检测的精度和重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 包装 检测 设备 | ||
【主权项】：
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