[实用新型]晶圆包装盒检测设备

权利要求书

1.一种晶圆包装盒检测设备，其特征在于，包括机架(1)、治具组件(2)和检测机构(3)；所述治具组件(2)设于所述机架(1)上，用于供待检测晶圆包装盒(100)放置；所述检测机构(3)设于所述机架(1)上且与所述治具组件(2)相对设置，用于对待检测晶圆包装盒(100)进行检测；

所述检测机构(3)包括用于将校准晶圆(200)移动至所述待检测晶圆包装盒(100)内的晶圆取放料组件(31)，用于对所述待检测晶圆包装盒(100)进行图像采集的视觉测量组件(32)，以及用于对所述待检测晶圆包装盒(100)的取放料口进行平面度检测的平面度测量组件(33)。

2.根据权利要求1所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述治具组件(2)包括定位台(21)，以及设于所述定位台(21)上用于对所述待检测晶圆包装盒(100)进行定位与限位的若干定位块(22)。

3.根据权利要求1所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述晶圆取放料组件(31)包括第一支架(311)、晶圆架(312)、第一导轨组件(313)、第二导轨组件(314)、第一驱动电机(315)和第二驱动电机(316)；

所述第一支架(311)通过所述第一导轨组件(313)可移动安装于所述机架(1)上，所述第一驱动电机(315)与所述第一支架(311)的底部连接用于驱动所述第一支架(311)沿X轴方向移动；

所述晶圆架(312)用于供若干校准晶圆(200)安装，所述晶圆架(312)通过第二导轨组件(314)安装于所述第一支架(311)朝向所述治具组件(2)一侧的侧面上，所述第二驱动电机(316)与所述晶圆架(312)连接用于驱动所述晶圆架(312)沿Z轴方向移动。

4.根据权利要求3所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述视觉测量组件(32)包括相机(321)、安装座(322)、第三导轨组件(323)和第三驱动电机(324)；

所述相机(321)设于所述安装座(322)上，所述安装座(322)通过所述第三导轨组件(323)安装于所述第一支架(311)背离所述晶圆架(312)一侧上，所述第三驱动电机(324)与所述安装座(322)连接，用于驱动所述安装座(322)沿Z轴方向移动，以调整所述相机(321)的位置。

5.根据权利要求4所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述平面度测量组件(33)包括若干传感器(331)、第二支架(332)、第四导轨组件(333)和第四驱动电机(334)；

所述若干传感器(331)间隔设于所述第二支架(332)上，所述第二支架(332)通过所述第四导轨组件(333)安装于所述机架(1)上，所述第四驱动电机(334)与所述第二支架(332)连接用于驱动所述第二支架(332)沿X轴方向移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述传感器(331)的数量为至少六个。

7.根据权利要求1至6任一项所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述晶圆包装盒检测设备还包括设于所述机架(1)上的光源组件(4)，用于为所述视觉测量组件(32)提供光源照射；

所述治具组件(2)设于所述检测机构(3)与所述光源组件(4)之间。

8.根据权利要求1至6任一项所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述晶圆包装盒检测设备还包括设于所述机架(1)上的平台(5)；

所述治具组件(2)和所述检测机构(3)设于所述平台(5)上。

9.根据权利要求1至6任一项所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述晶圆包装盒检测设备还包括套设于所述检测机构(3)外周的外罩组件(6)，所述外罩组件(6)具有一通道(A)，所述通道(A)朝向所述治具组件(2)一侧设置，以供所述检测机构(3)进出。

10.根据权利要求9所述的晶圆包装盒检测设备，其特征在于，所述检测机构(3)还包括设于所述机架(1)或所述外罩组件(6)上的控制组件(7)，所述控制组件(7)与所述晶圆取放料组件(31)、所述视觉测量组件(32)与所述平面度测量组件(33)连接。