[实用新型]一种电离真空计的防护装置及电离真空计有效

专利信息
申请号: 202222966163.8 申请日: 2022-11-08
公开(公告)号: CN218724983U 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 沈健超 申请(专利权)人: 芯恩(青岛)集成电路有限公司
主分类号: G01L21/30 分类号: G01L21/30
代理公司: 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 代理人: 王立红
地址: 266246 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本申请提供一种电离真空计的防护装置及电离真空计,包括插入部、防护部及阻挡片。插入部的出口用于插入电离真空计的连接管内。防护部设于插入部的入口侧,包括网格面,网格面具有预定目数。阻挡片设于插入部的出口与入口之间的内壁上,且阻挡片与防护部之间间隔预定间距;阻挡片的顶部向防护部一侧倾斜设置,阻挡片用于阻挡并二次收集碎屑。通过防护部阻挡大于预定目数的碎屑经插入部进入电离真空计的连接管内。通过阻挡片的设置,将小于预定目数的碎屑落至阻挡片的前端,防止碎屑进入电离真空计内部。本申请通过防护部和阻挡片双重保护措施提升电离真空计内部洁净度,降低突发性灯丝断开的概率。
搜索关键词: 一种 电离 真空计 防护 装置
【主权项】:
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