[实用新型]一种电离真空计的防护装置及电离真空计有效
申请号: | 202222966163.8 | 申请日: | 2022-11-08 |
公开(公告)号: | CN218724983U | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 沈健超 | 申请(专利权)人: | 芯恩(青岛)集成电路有限公司 |
主分类号: | G01L21/30 | 分类号: | G01L21/30 |
代理公司: | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人: | 王立红 |
地址: | 266246 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电离 真空计 防护 装置 | ||
本申请提供一种电离真空计的防护装置及电离真空计,包括插入部、防护部及阻挡片。插入部的出口用于插入电离真空计的连接管内。防护部设于插入部的入口侧,包括网格面,网格面具有预定目数。阻挡片设于插入部的出口与入口之间的内壁上,且阻挡片与防护部之间间隔预定间距;阻挡片的顶部向防护部一侧倾斜设置,阻挡片用于阻挡并二次收集碎屑。通过防护部阻挡大于预定目数的碎屑经插入部进入电离真空计的连接管内。通过阻挡片的设置,将小于预定目数的碎屑落至阻挡片的前端,防止碎屑进入电离真空计内部。本申请通过防护部和阻挡片双重保护措施提升电离真空计内部洁净度,降低突发性灯丝断开的概率。
技术领域
本申请涉及真空检测技术领域,具体而言,涉及一种电离真空计的防护装置及电离真空计。
背景技术
电离真空计是基于在一定条件下、待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。在电离真空计中的离子束通过区域多个集成组件集中安装,因此在该区域内易积累碎屑。气体中的碎屑在破真空的特殊状态下通过连接管会进入到电离真空计的内腔,从而影响内部灯丝的使用,缩减灯丝的使用寿命,易造成电离真空计的突发性损坏,增加更换频率。因此,提供一种电离真空计的防护装置,以阻止碎屑进入电离真空计的内部,避免对电离真空计造成突发性损坏成为较为热门的研究点。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种电离真空计的防护装置及电离真空计,其能够提升电离真空计内部洁净度,降低突发性灯丝断开的概率。
第一方面,提供了一种电离真空计的防护装置,包括插入部、防护部及阻挡片。
插入部为圆筒状,所述插入部的出口用于插入电离真空计的用于抽气的连接管内。防护部设于所述插入部的入口侧,包括连接框架及设于所述连接框架内的网格面,所述网格面具有预定目数。阻挡片设于所述插入部的出口与入口之间的内壁上,且所述阻挡片的底部与所述防护部之间间隔预定间距;所述阻挡片的底部与所述插入部的内壁固定连接,所述阻挡片的顶部向所述防护部一侧倾斜设置,所述阻挡片用于阻挡并二次收集碎屑。
在一种实施方式中,所述阻挡片为圆弧形阻挡片,所述阻挡片的底边为圆弧形,所述阻挡片的顶边为直线形、曲线形或者圆弧形。
在一种实施方式中,所述阻挡片的顶部向所述防护部一侧倾斜18.4-90度。
在一种实施方式中,所述阻挡片设于所述防护部的后侧,所述阻挡片的底部与所述防护部之间间隔距离大于或者等于所述插入部长度的二分之一、小于等于所述插入部长度的三分之二。
在一种实施方式中,所述阻挡片的高度大于等于所述插入部半径的一半、小于等于所述插入部的半径。
在一种实施方式中,所述阻挡片的厚度为1-2mm。
在一种实施方式中,所述连接框架的外侧设连接部,通过所述连接部将所述连接框架可拆卸连接于电离真空计的连接管的入口处。
在一种实施方式中,所述插入部的内径与所述网格面的直径相同。
在一种实施方式中,所述网格面的目数大于等于32mesh、小于等于115mesh。
根据本申请的第二方面,还提供了一种电离真空计,包括连接管,所述连接管与电离真空计内腔连通,所述连接管的抽气口处连接如第一方面提供的防护装置。
与现有技术相比,本申请的有益效果为:
在本申请的技术方案中,通过防护部的设置,将大于或者等于预定目数的碎屑阻挡于防护部的外部,阻挡大于预定目数的碎屑经所述插入部进入电离真空计的连接管内。通过阻挡片的设置,将小于预定目数的碎屑进入所述插入部后减速,使碎屑落至所述阻挡片的前端,防止碎屑进入电离真空计内部。本申请通过防护部和阻挡片双重保护措施提升电离真空计内部洁净度,降低突发性灯丝断开的概率。
附图说明
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